[发明专利]一种降低酸洗废液中双氧水含量的方法

说明书

本发明提供一种降低酸洗废液中双氧水含量的方法，其可避免引入杂质并有效降低酸洗废液中的双氧水含量，保证硫酸的回收率，提高酸洗废液的回收利用效果；其包括以下步骤：S1：将酸洗废液从加热釜顶部的吹脱塔上部喷入带有曝气装置的加热釜中，低压压缩空气从加热釜的底部通过曝气装置进入加热釜，加热反应；S2：得到的硫酸顺次经过预热器、冷却器后进入硫酸成品储罐，反应产生的蒸汽经吹脱塔进入冷凝器中进行冷凝，得到的冷凝水进入冷凝水罐，不凝废气进入尾气处理系统；S3：冷凝水送至废水处理槽中与印染废水反应。

技术领域

本发明涉及工业废液处理技术领域，特别为硫酸废液回收处理技术领域，具体为一种降低酸洗废液中双氧水含量的方法。

背景技术

电子级硫酸主要用于硅晶片的清洗、光刻、腐蚀，印刷电路板的腐蚀和电镀清洗；半导体行业产生的硫酸质量分数为40％～60％、双氧水含量为20000ppm～50000ppm的酸洗废液虽然可应用于一些钢铁酸洗工艺，但是由于双氧水含量过高，在酸洗的过程中会产生大量气泡，影响酸洗工艺的效果以及产品的机械性能，而且过高的双氧水含量还会影响酸洗废液存储和运输的安全性，因此需要降低酸洗废液中的双氧水含量。

目前常用的方法是加入金属氧化物催化剂，在加热状态下加速过氧化氢分解而降低酸洗废液中的双氧水含量，但是由于金属氧化物催化剂在浓酸中具有一定的溶解性，会溶解部分金属离子，从而在降低双氧水含量的同时会引入杂质，影响酸洗废液的回收利用效果。

发明内容

针对现有酸洗废液中双氧水降低方法易引入杂质、影响酸洗废液回收利用效果的缺点，本发明提供了一种降低酸洗废液中双氧水含量的方法，其可避免引入杂质并有效降低酸洗废液中的双氧水含量，保证硫酸的回收率，提高酸洗废液的回收利用效果。

本发明采用如下技术方案：其特征在于，其包括以下步骤：

S1：将硫酸浓度为50％～60％、双氧水含量为20000ppm～35000ppm的酸洗废液从加热釜顶部的吹脱塔上部喷入带有曝气装置的加热釜中，0.8Mpa的压缩空气从所述加热釜的底部通过所述曝气装置进入所述加热釜，在110℃～130℃下反应1～2h；

S2：经S1反应得到的硫酸顺次经过预热器、冷却器后进入硫酸成品储罐，反应产生的蒸汽经所述吹脱塔进入冷凝器中进行冷凝，得到的冷凝水进入冷凝水罐，不凝废气进入尾气处理系统；

S3：将所述冷凝水送至废水处理槽中与COD值为10000～20000ppm的印染废水反应1～2h，所述印染废水与所述冷凝水的体积比为1:1～2:1。

其进一步特征在于：

所述曝气装置为环形曝气管；

所述环形曝气管采用耐高温PTFE材质；

所述加热釜采用164℃～169℃、0.6～0.7Mpa的低压蒸汽加热；

所述废水处理槽设有紫外灯模组；

所述紫外灯模组的紫外灯波长为185nm～254nm；

所述尾气处理系统包括碱喷淋塔和水喷淋塔；

所述印染废水为罗丹明染料废水。

本发明采用上述方法后，双氧水在加热分解的同时通过曝气装置进行曝气，可以加速分解产物的分离，而压缩空气和双氧水受热分解产生的蒸汽从下方进入吹脱塔，酸洗废液从吹脱塔上方喷淋进入加热釜，可使两相物质在吹脱塔中进行充分的物质和能量交换，上升气体中的稀硫酸蒸汽进入液相中，可降低蒸汽中硫酸的损失，保证硫酸的回收率，而气相中的热量则传递给液相，减少了能耗，通过本方法避免了引入新的杂质、并可有效降低双氧水含量至100ppm以下，提高了酸洗废液的回收利用效果。