[发明专利]彩虹膜工艺及彩虹膜生产装置在审
| 申请号: | 202111554741.0 | 申请日: | 2021-12-17 |
| 公开(公告)号: | CN114318236A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
| 发明(设计)人: | 毛一丁;罗万里;张辉;钟道华;谢一;梁波 | 申请(专利权)人: | 中丰田光电科技(珠海)有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/20;C23C14/02;C23C14/54 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 牛丽霞 |
| 地址: | 519000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 彩虹 工艺 生产 装置 | ||
1.一种彩虹膜工艺,其特征在于:其包括以下步骤:
步骤S1、将待镀膜放置在真空蒸镀机的真空腔室中,且位于真空腔室中的蒸发舟的上方;
步骤S2、将掺杂至少一种金属粉末的蒸镀介质放置在蒸发舟上,对真空腔室抽真空后进行蒸镀;
步骤S3、更换掺杂不同金属粉末的蒸镀介质,再次进行蒸镀;
步骤S4、多次重复步骤S3。
2.根据权利要求1所述的彩虹膜工艺,其特征在于:所述的将待镀膜放置在真空蒸镀机的真空腔室中,且位于真空腔室中的蒸发舟的上方的步骤包括:
步骤S11、将待镀膜放置在真空腔室中的放卷辊上,并穿过主鼓后收卷在收卷辊上,使得待镀膜位于蒸发舟的上方;
步骤S12、启动主鼓内部的冷却系统对待镀膜进行冷却。
3.根据权利要求1所述的彩虹膜工艺,其特征在于:所述的将掺杂至少一种金属粉末的蒸镀介质放置在蒸发舟上,对真空腔室抽真空后进行蒸镀的步骤包括:
步骤S21、将掺杂至少一种金属粉末的蒸镀介质放置在蒸发舟上;
步骤S22、关闭真空腔室,开始抽真空,使得压力开始下降,当压力小于5×10-3mbr时开始蒸镀,加热蒸发舟至1700度,润舟后进行蒸镀,并控制镀层的厚度。
4.根据权利要求1所述的彩虹膜工艺,其特征在于:在所述的将待镀膜放置在真空蒸镀机的真空腔室中,且位于真空腔室中的蒸发舟的上方的步骤之前,还包括以下步骤:
步骤S0、对待镀膜进行电晕处理。
5.根据权利要求4所述的彩虹膜工艺,其特征在于:所述的多次重复步骤S3的步骤后,还包括以下步骤:
步骤S5、蒸镀完成后停止加热,放气使真空腔室内压强升至大气压后开仓取膜。
6.根据权利要求1-5任一项所述的彩虹膜工艺,其特征在于:所述蒸镀介质为硫化锌。
7.根据权利要求1所述的彩虹膜工艺,其特征在于:所述多种金属粉末掺杂量为万分之三克。
8.一种彩虹膜生产装置,其特征在于:其包括真空仓,所述真空仓中设有真空腔室,所述真空腔室中设置有蒸发槽、收卷辊、放卷辊、主鼓、挡板、挡板驱动机构、收卷辊驱动机构及主鼓驱动机构,所述主鼓中设置有冷却系统,所述收卷辊、所述放卷辊及所述主鼓均位于所述挡板的上方,所述蒸发槽位于所述挡板的下方,所述挡板驱动机构驱动所述挡板打开/关闭,所述收卷辊驱动机构驱动所述收卷辊旋转,所述主鼓驱动机构驱动所述主鼓旋转,所述蒸发槽上设置有蒸发舟。
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