[发明专利]一种选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液

权利要求书

1.一种选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液，其特征在于，所述的蚀刻液成分包括质量百分数的以下组分：双氧水的质量分数为1-30%；无机酸的质量分数为1-50%；腐蚀剂的质量分数为1-10%；蚀刻抑制剂的质量分数为1-5%；表面活性剂的质量分数为0.001-1%；余量为水。

2.根据权利要求1所述选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液，其特征在于，所述腐蚀剂为氟化物，氢氟酸、氟化铵、氟化钠、氟硅酸、氟硅酸钠中的一种或几种组合。

3.根据权利要求1所述选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液，其特征在于，所述无机酸为硫酸、硝酸、盐酸中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻抑制剂铵盐化合物，为硫酸铵、过硫酸铵、四乙基硫酸铵、柠檬酸三铵、十六烷基三甲基氟化铵、羟乙基磺酸铵盐、甘草酸单铵盐、5,5'-联四唑二铵盐、硝酸铵中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液，其特征在于，所述表面活性剂为酰胺类化合物，为聚丙烯酰胺、烟酰胺、2-糠酰胺、丁烯酰胺、月桂酰胺、2-苯基丙二酰胺、乙酰基苯甲酰胺、二丙酮丙烯酰胺中的一种或几种。

6.权利要求1-5任意一项所述的一种选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液的配制方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

S1：依次加入双氧水、去离子水、无机酸；

S2：加入腐蚀剂、蚀刻抑制剂、表面活性剂，加水调节至蚀刻液配置总量，超声搅拌均匀得到蚀刻液。

7.根据权利要求6所述的一种选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液的配制方法，其特征在于，所述无机酸为硝酸和硫酸时，先加入硝酸，再分三次加入硫酸，每次加入硫酸后放入冰浴中冷却至室温再次加入硫酸，重复三次。

8.权利要求1-5任意一项所述的一种选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液的使用方法，其特征在于，将氮化钛和钨浸泡于蚀刻液中，在温度为40-80℃下蚀刻1-20min即可完成蚀刻。