[发明专利]蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法

说明书

本申请提供了一种蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法。其中，蒸镀装置，包括蒸镀腔，吸附组件，所述吸附组件用于吸附所述蒸镀腔中的粒子，所述吸附组件包括位于所述蒸镀腔内的第一部分和位于所述蒸镀腔外的第二部分；传送组件，所述传送组件上设置有所述第一部分和所述第二部分，当满足预设条件时，所述传送组件驱动所述第一部分移动至所述蒸镀腔外，并驱动所述第二部分移动至所述蒸镀腔内。本申请实施例通过传送组件自动更换吸附组件以使新的吸收组件吸收粒子，以防止粒子沉积到蒸镀腔中的防着板上，从而避免了在制备显示面板时基板上引入粒子的情况，解决了加热蒸发的方式导致基板上留有粒子的问题，进而提高有机显示器件的显示性能。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法。

背景技术

OLED器件制作的主要方式是加热蒸发镀膜，主要是使用加热容器在真空环境下加热蒸镀材料，使升华型或者熔融型的蒸镀材料在高温状态下气化，沉积在有TFT结构或者阳极结构的基板上。

但是这种加热蒸发的方式会导致基板上留有粒子，影响有机显示器件的显示性能。

发明内容

本申请实施例提供一种蒸镀装置和蒸镀装置的制作方法，解决了现有的加热蒸发的方式导致基板上留有粒子的问题。

本申请实施例提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括蒸镀腔，包括:

吸附组件，所述吸附组件用于吸附所述蒸镀腔中的粒子，所述吸附组件包括位于所述蒸镀腔内的第一部分和位于所述蒸镀腔外的第二部分；

传送组件，所述传送组件上设置有所述第一部分和所述第二部分，当满足预设条件时，所述传送组件驱动所述第一部分移动至所述蒸镀腔外，并驱动所述第二部分移动至所述蒸镀腔内。

可选的，所述吸附组件包括：

第一吸附膜，所述第一吸附膜用于吸附所述蒸镀腔中的磁性粒子；

第二吸附膜，所述第二吸附膜用于吸附所述蒸镀腔中的非磁性粒子。

可选的，所述吸附组件还包括：

质量感应器，所述质量感应器用于检测所述第一吸附膜吸附的磁性粒子的质量和所述第二吸附膜吸附非磁性粒子的质量；

当所述磁性粒子的质量和所述非磁性粒子的质量之和满足预设条件时，所述传送组件驱动所述第一部分移动至所述蒸镀腔外，并驱动所述第二部分移动至所述蒸镀腔内。

可选的，所述第一吸附膜和所述第二吸附膜设置在所述质量感应器的两侧。

可选的，所述蒸镀装置还包括防着板，所述防着板设置在所述蒸镀腔中，所述防着板的一侧设置有所述质量感应器，所述质量感应器远离所述防着板的一侧设置有所述第一吸附膜和所述第二吸附膜。

可选的，所述吸附组件还包括第一基板和第二基板，所述第一基板和所述第二基板设置在所述质量感应器的两侧，且所述第一基板和所述第二基板上均设置有所述第一吸附膜和所述第二吸附膜，其中，位于所述第一基板的所述第一吸附膜在所述第一基板上的正投影与位于所述第二基板的所述第二吸附膜在所述第一基板上的正投影错开设置。

可选的，所述传送组件包括滚轮和传送带，所述传送带上设置有多个所述吸附组件，所述滚轮滚动带动所述传送带运动，以将所述第一部分移动至所述蒸镀腔外，并驱动所述第二部分移动至所述蒸镀腔内。

可选的，所述第一吸附膜的组成材料包括Fe、Co或Ni中的一种或组合。

本申请实施例还提供一种蒸镀装置的制作方法，所述制作方法包括：

提供一传送组件；