[发明专利]制备合成石英玻璃的工艺

权利要求书

1.一种生产合成石英玻璃的工艺，其特征在于以下工艺步骤：

(1)蒸发含有至少一种有机硅起始化合物的原料以形成原料蒸气；

(2)将来自工艺步骤(1)的所述原料蒸气馈送到反应区，在所述反应区中所述原料蒸气在火焰中在氧气存在下燃烧并通过氧化和/或通过水解转化成SiO₂烟灰粒子；

(3)将由工艺步骤(2)产生的所述SiO₂烟灰粒子沉积在沉积表面上以形成烟灰体；以及

(4)必要时，对由工艺步骤(3)产生的所述烟灰体进行干燥和玻璃化以形成合成熔融二氧化硅；

所述工艺的特征在于

在所述工艺中使用的合成火焰在无目标状态下的垂直发光强度的半峰全宽(FWHM_vert)与水平发光强度的半峰全宽(FWHM_hori)的比率大于10。

2.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于在所述工艺中使用的所述火焰在无目标状态下的垂直发光强度的半峰全宽(FWHM_vert)与水平发光强度的半峰全宽(FWHM_hori)的比率大于12。

3.根据权利要求1或2所述的工艺，其特征在于在所述工艺中使用的所述火焰在无目标状态下的垂直发光强度的半峰全宽(FWHM_vert)与水平发光强度的半峰全宽(FWHM_hori)的比率大于14。

4.根据权利要求1或2所述的工艺，其特征在于在所述工艺中使用的所述火焰在无目标状态下的垂直发光强度的半峰全宽(FWHMvert)与水平发光强度的半峰全宽(FWHMhori)的比率大于15。

5.根据权利要求1或2所述的工艺，其特征在于在所述工艺步骤(2)中主动供应的燃烧器气体一起具有小于或等于1的空气系数。

6.根据权利要求1或2所述的工艺，其特征在于在所述工艺步骤(2)中主动供应的所述燃烧器气体一起具有小于或等于0.85的空气系数。

7.根据权利要求1或2所述的工艺，其特征在于在所述工艺步骤(2)中主动供应的所述燃烧器气体一起具有小于或等于0.76的空气系数。

8.根据权利要求1或2所述的工艺，其特征在于所述工艺步骤(2)通过具有同心横截面的燃烧器进行，其中在所述同心横截面内部，将所述原料蒸气与氧气一起作为进料混合物引入燃烧器火焰中，并且通过分离气体将所述进料混合物与含氧氧化气体分离。

9.根据权利要求1或2所述的工艺，其特征在于所述有机硅起始化合物选自由以下组成的群组：六甲基环三硅氧烷(D3)、八甲基环四硅氧烷(D4)、十甲基环五硅氧烷(D5)、十二甲基环六硅氧烷(D6)、十四甲基环七硅氧烷(D7)、十六甲基环八硅氧烷(D8)、其线性同系物和以上化合物的任何混合物。

10.根据权利要求9所述的工艺，其特征在于聚烷基硅氧烷化合物为八甲基环四硅氧烷(D4)。