[发明专利]一种快速、高效、精准的单晶PERC绒面制备方法

说明书

本发明公开了一种快速、高效、精准的单晶PERC绒面制备方法，包括以下步骤：S1：清洗单晶硅片表面，去除单晶硅片表面的损伤层和有机杂质；S2：制绒液的配置：将制绒添加剂加到碱溶液中，混合均匀；S3：将单晶硅片置入步骤S2制得的制绒液中进行制绒；S4：清洗制绒后的单晶硅片，去除单晶硅片表面残留的有机物；S5：对制绒后的单晶硅片进行酸洗，去除单晶硅片表面的金属杂质；S6：慢提拉和烘干硅片，去除制绒清洗后硅片表面的水渍。

技术领域

本发明涉及一种快速、高效、精准的单晶PERC绒面制备方法。

背景技术

随着世界能源紧缺和环境污染等问题的加剧，清洁能源的需求不断增加，太阳能发电越来越受到人们的关注。硅基太阳能电池成本低、转换效率高，占据了光伏行业约90％的市场份额。近年来，随着选择性发射极(SE)激光掺杂和背面钝化(PERC)技术的发展，尤其是SE双面PERC电池的出现，单晶硅电池的光电转换效率提升至22％～24％，市场地位被进一步巩固。通过化学湿法腐蚀在单晶硅片表面制备金字塔状的陷光结构，可有效降低反射率，从而提高光电转换效率。但是腐蚀后的金字塔形态会影响磷扩散深度和浓度、钝化膜钝化效果以及丝网印刷银电极的接触，从而影响太阳电池的电性能。因此，如何提高单晶硅电池片表面织构的质量，优化制绒工艺参数，对单晶硅电池的光电转换效率的提高具有重要意义。

目前传统制绒工艺在提高电池效率方面趋于瓶颈，因此优化制绒工艺，确定与后续扩散、镀膜和丝网印刷工艺最为匹配的单晶制绒工艺，从而提高电池片的转换效率则显得更为紧迫。硅片制绒批量生产过程中，随着制绒批次的增长，化学反应消耗会使溶液中的OH^-浓度逐渐降低，含量逐渐升高，造成金字塔尺寸增大，反射率升高，使得制绒液失效，从而造成是生产工艺波动，影响制绒效果。为了解决上述问题，维持制绒制程稳定，延长药液寿命周期，每生产一定批次后进行药液定排和药液补加，药液补加量的确定直接影响织构效果。

发明内容

本发明的目的在于解决上述问题，提供一种制绒效果优异，制绒后绒面金字塔的尺寸较小，分布均匀，陷光效果好，因而能提高太阳能电池片的光电转换效率的制绒方法。

一种快速、高效、精准的单晶PERC绒面制备方法，包括以下步骤：

S1：清洗单晶硅片表面，去除单晶硅片表面的损伤层和有机杂质；

S2：制绒液的配置：将制绒添加剂加到碱溶液中，混合均匀；

S3：将单晶硅片置入步骤S2制得的制绒液中进行制绒；

S4：清洗制绒后的单晶硅片，去除单晶硅片表面残留的有机物；

S5：对制绒后的单晶硅片进行酸洗，去除单晶硅片表面的金属杂质；

S6：慢提拉和烘干硅片，去除制绒清洗后硅片表面的水渍。

作为进一步改进，步骤S1中清洗单晶硅片的清洗剂为0.66％KOH和3.84％的水溶液。

作为进一步改进，步骤S2中所述的制绒添加剂的体积分数为0.4～0.6％，所述的碱溶液为体积分数为2％的氢氧化钾水溶液。

作为进一步改进，步骤S3中的制绒温度为80～88℃，制绒时间为360～520s。