[发明专利]一种真空加热装置及方法

权利要求书

1.一种真空加热装置，其特征在于，包括加热台主体，所述加热台主体包括：

样品固定架；

导电基台，所述导电基台连接有阳极接线座；所述导电基台设有定位部，用于承载并固定所述样品固定架；以及

第一加热组件，所述第一加热组件包括钨丝和连接于所述钨丝两端的钨丝电极；所述钨丝固定于所述导电基台，并与所述样品固定架呈相对且非接触式分布。

2.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，满足以下条件(a)和(b)中的至少一个：

(a)所述钨丝的直径为0.2mm～0.5mm；

(b)所述钨丝沿螺旋路径延伸。

3.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，所述样品固定架包括第一样品固定架，所述第一样品固定架包括第一样品承载底板、第一样品压片和第一紧固件；所述第一样品承载底板用于放置并固定于所述定位部，其中部贯穿开设有加热孔；所述第一紧固件用于将所述第一样品压片和所述第一样品承载底板进行紧固连接。

4.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，所述加热台主体还包括第二加热组件，所述第二加热组件包括电刷和连接于所述电刷一端的电刷电极，所述电刷固定于所述导电基台背向所述钨丝的一侧，所述电刷的另一端用于与所述样品固定架电性接触。

5.根据权利要求4所述的真空加热装置，其特征在于，所述样品固定架包括第二样品固定架，所述第二样品固定架包括第二样品承载底板、样品支撑板、第二样品压片和第二紧固件，所述第二样品承载底板用于放置并固定于所述定位部，所述第二紧固依次穿设于所述第二样品压片、所述样品支撑板以及所述第二样品承载底板；靠近所述电刷的所述样品支撑板包括平板部和凸出部，所述凸出部凸设于所述平板部的顶部并用于与所述电刷电性接触；

可选地，所述凸出部在长度方向上的两端顶部均设置有倒角结构；

可选地，所述倒角结构满足以下条件(c)～(e)中的至少一个：

(c)所述倒角结构的倾斜方向与所述凸出部的长度方向之间的夹角为10°～30°；

(d)所述倒角结构在倾斜方向上的长度与所述凸出部的长度之比为(1～2):10；

(e)在所述倒角结构的倾斜方向上，所述倒角结构的两端具有弧形过渡区，每个所述弧形过渡区在所述倒角结构中的分布范围占比为10％～20％。

6.根据权利要求1～5任一项所述的真空加热装置，其特征在于，所述真空加热装置还包括安装主体；所述安装主体包括安装底座、波纹管和连接件；所述安装底座设有固定架和移动架；所述波纹管的第一端连接于所述固定架，并设有用于与真空腔室密封连接并连通的安装件；所述波纹管的第二端与所述移动架连接；所述连接件穿设于所述波纹管内，所述连接件的一端与所述波纹管的第二端连接，所述连接件的另一端穿出所述波纹管的第一端并与所述导电基台连接。

7.根据权利要求6所述的真空加热装置，其特征在于，所述移动架设有第一驱动件、第二驱动件和第三驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述波纹管的第二端在第一预设方向移动，所述第二驱动件用于驱动所述波纹管的第二端在第二预设方向移动，所述第三驱动件用于驱动所述波纹管的第二端在第三预设方向移动；

其中，所述第一预设方向为所述固定架指向所述移动架的方向；所述第二预设方向和所述第三预设方向相互垂直，且二者均垂直于所述第一预设方向；

可选地，所述移动架满足以下条件(f)～(h)中的至少一个：

(f)所述第一驱动件为丝杠驱动结构；

(g)所述第二驱动件为千分尺手柄；

(h)所述第三驱动件为千分尺手柄。

8.根据权利要求6所述的真空加热装置，其特征在于，所述连接件与所述波纹管的第二端可转动地连接；所述真空加热装置还包括转动机构，所述转动机构与所述连接件传动连接。