[发明专利]一种阶梯特征通带窄带滤光片在审

申请号：	202111538996.8	申请日：	2021-12-15
公开（公告）号：	CN114325910A	公开（公告）日：	2022-04-12
发明（设计）人：	韩彬;王莉虹;石峰;赵楠;王远玲;贺维;张腾;肖立;祝捷;郗皓	申请（专利权）人：	西安北方光电科技防务有限公司
主分类号：	G02B5/28	分类号：	G02B5/28
代理公司：	西安吉盛专利代理有限责任公司 61108	代理人：	杨全枝
地址：	710043 ***	国省代码：	陕西;61
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摘要：
搜索关键词：	一种阶梯特征窄带滤光
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【说明书】：

本发明提出一种阶梯特征通带窄带滤光片，包括：基片，基片的两面分别镀制有第一膜层和第二膜层；所述第一膜层从基片至外侧的结构为：a(HL)b(HL)(HL)^sc(HL)d(HL)；所述第二膜层从基片至外侧的结构为：(HL)ⁿy(H)(LH)ⁿx(H)L[(HL)ⁿ2y(H)(LH)ⁿL]^m(HL)ⁿ⁺¹y(H)(LH)ⁿ；其中，H代表高折射率材料膜层，L代表低折射率材料膜层；a、b、c、d、x、y代表括号内膜层结构的光学厚度，厚度单位为λ/4，0＜a、b、c、d＜2，‑1＜x＜1，y为整数2的倍数。m、n、s代表括号内结构的重复次数。

技术领域

本发明涉及窄带滤光片技术领域，尤其是一种阶梯特征通带窄带滤光片。

背景技术

窄带滤光片，属带通滤光片，在光学系统中起到滤光和选择谱线的功能，是一种重要的薄膜元件。其在光学系统中的作用为：允许特定的波段光信号通过，而通带波段以外两侧的光信号被阻止。这样可降低非工作波段的杂散光的干扰从而提高系统的信噪比。窄带滤光片常用加工方式是由高折射率材料膜层和低折射率材料膜层交替组成的多层膜，通带光谱曲线特性形似“几”字。窄带滤光片对工作角度十分敏感，当工作角度由0°逐渐增大，通带的中心波长位置会不断向短波移动。通常的窄带滤光片通带顶部平整，透过率值差别小。当产品要求滤光片通带工作特性为小工作角状态下的透过率要显著低于或高于大工作角状态时(光谱通带呈阶梯特征)，通常的窄带滤光片设计和加工方法是无法满足的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种阶梯特征通带窄带滤光片，可使滤光片通带工作特性为小工作角状态下的透过率要显著低于或高于大工作角状态。

一种阶梯特征通带窄带滤光片，包括：基片，所述基片的两面分别镀制有第一膜层和第二膜层；

所述第一膜层从基片至外侧的结构为：

a(HL)b(HL)(HL)^s c(HL)d(HL)；

所述第二膜层从基片至外侧的结构为：

(HL)ⁿ y(H)(LH)ⁿ x(H)L[(HL)ⁿ 2y(H)(LH)ⁿ L]^m(HL)ⁿ⁺¹y(H)(LH)ⁿ；

其中，H代表高折射率材料膜层，L代表低折射率材料膜层；a、b、c、d、x、y代表括号内膜层结构的光学厚度，厚度单位为λ/4，λ为工作波长，0＜a、b、c、d＜2，-1＜x＜1，y为整数2的倍数。m、n、s代表括号内结构的重复次数。

可选地，所述基片的材料为光学玻璃或有色玻璃。

可选地，所述高折射率材料的折射率值范围为2.0-3.0。

可选地，所述高折射率材料包括TiO₂、Ti₃O₅、Ta₂O₅、Nb₂O₅、ZrO₂和ZnS中的至少一种。

可选地，所述第一膜层中的高折射率材料和低折射率材料的交替镀制总层数为30-50层。