[发明专利]一种单晶硅制绒剂及绒面单晶硅的制备方法有效
申请号: | 202111520915.1 | 申请日: | 2021-12-14 |
公开(公告)号: | CN113913188B | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | 李一鸣;吴冰;张震华 | 申请(专利权)人: | 绍兴拓邦电子科技有限公司 |
主分类号: | C09K13/06 | 分类号: | C09K13/06;C09K13/10;C30B33/10 |
代理公司: | 绍兴锋行知识产权代理事务所(普通合伙) 33460 | 代理人: | 徐锋 |
地址: | 312000 浙江省绍兴市越*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 制绒剂 制备 方法 | ||
1.一种单晶硅制绒剂,其特征是,包括碱液和制绒添加剂;
所述制绒添加剂包括改性聚乙烯醇;
所述改性聚乙烯醇由甘西鼠尾草酸甲改性聚乙烯醇;
所述制绒添加剂中,各成分重量份分别为:改性聚乙烯醇为5~25份、酒石酸为1~3份、硼酸为0.5~1.5份、十二烷基磺酸钠为0.5~2.5份、苯甲酸钠为0.25~1.75份、水为50~85份;
所述碱液和制绒添加剂的质量比为5~10:1。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅制绒剂,其特征是,所述碱液为氢氧化钠水溶液、氢氧化钾水溶液中的一种;所述碱液的浓度为2.5~5.5wt%。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅制绒剂,其特征是,所述改性聚乙烯醇的制备方法为:将聚乙烯醇溶于水中,然后加入甘西鼠尾草酸甲、催化剂,在加热条件下进行反应,干燥,洗涤,干燥,得到改性聚乙烯醇。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅制绒剂,其特征是,所述制绒添加剂还含有0.5~2.5份异麦芽酮糖醇与5′-肌苷酸二钠混合物,其中异麦芽酮糖醇与5′-肌苷酸二钠混合物的重量比为1:0.25~0.5。
5.权利要求1所述的一种单晶硅制绒剂的制备方法,其特征是,包括:将所述碱液和所述制绒添加剂混合均匀制得单晶硅制绒剂。
6.权利要求1所述的一种单晶硅制绒剂的用途,其特征是,将单晶硅制绒剂应用在制备绒面单晶硅中。
7.一种绒面单晶硅的制备方法,其特征是,包括以下步骤:
S1:将单晶硅片进行预处理;
S2:将预处理后的单晶硅片置于权利要求1所述的单晶硅制绒剂中进行制绒;
S3:将制绒后的单晶硅片清洗、干燥,得到绒面单晶硅。
8.根据权利要求7所述的一种绒面单晶硅的制备方法,其特征是,所述步骤S2中,制绒温度为65~85℃,制绒时间为10~20min。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绍兴拓邦电子科技有限公司,未经绍兴拓邦电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111520915.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。