[发明专利]一种单晶硅制绒剂及绒面单晶硅的制备方法有效

专利信息
申请号: 202111520915.1 申请日: 2021-12-14
公开(公告)号: CN113913188B 公开(公告)日: 2022-02-25
发明(设计)人: 李一鸣;吴冰;张震华 申请(专利权)人: 绍兴拓邦电子科技有限公司
主分类号: C09K13/06 分类号: C09K13/06;C09K13/10;C30B33/10
代理公司: 绍兴锋行知识产权代理事务所(普通合伙) 33460 代理人: 徐锋
地址: 312000 浙江省绍兴市越*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶硅 制绒剂 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种单晶硅制绒剂,其特征是,包括碱液和制绒添加剂;

所述制绒添加剂包括改性聚乙烯醇;

所述改性聚乙烯醇由甘西鼠尾草酸甲改性聚乙烯醇;

所述制绒添加剂中,各成分重量份分别为:改性聚乙烯醇为5~25份、酒石酸为1~3份、硼酸为0.5~1.5份、十二烷基磺酸钠为0.5~2.5份、苯甲酸钠为0.25~1.75份、水为50~85份;

所述碱液和制绒添加剂的质量比为5~10:1。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅制绒剂,其特征是,所述碱液为氢氧化钠水溶液、氢氧化钾水溶液中的一种;所述碱液的浓度为2.5~5.5wt%。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅制绒剂,其特征是,所述改性聚乙烯醇的制备方法为:将聚乙烯醇溶于水中,然后加入甘西鼠尾草酸甲、催化剂,在加热条件下进行反应,干燥,洗涤,干燥,得到改性聚乙烯醇。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅制绒剂,其特征是,所述制绒添加剂还含有0.5~2.5份异麦芽酮糖醇与5′-肌苷酸二钠混合物,其中异麦芽酮糖醇与5′-肌苷酸二钠混合物的重量比为1:0.25~0.5。

5.权利要求1所述的一种单晶硅制绒剂的制备方法,其特征是,包括:将所述碱液和所述制绒添加剂混合均匀制得单晶硅制绒剂。

6.权利要求1所述的一种单晶硅制绒剂的用途,其特征是,将单晶硅制绒剂应用在制备绒面单晶硅中。

7.一种绒面单晶硅的制备方法,其特征是,包括以下步骤:

S1:将单晶硅片进行预处理;

S2:将预处理后的单晶硅片置于权利要求1所述的单晶硅制绒剂中进行制绒;

S3:将制绒后的单晶硅片清洗、干燥,得到绒面单晶硅。

8.根据权利要求7所述的一种绒面单晶硅的制备方法,其特征是,所述步骤S2中,制绒温度为65~85℃,制绒时间为10~20min。

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