[发明专利]一种折叠光路激光切割头调试方法

权利要求书

1.一种折叠光路激光切割头调试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1)、去除激光切割头(1)的聚焦物镜，保留锥透镜、平凸透镜及反射镜；

步骤2)、将可控液晶面板(4)安装在激光切割头(1)的入光口处，确保可控 液晶面板(4)的中心与激光切割头(1)的入光口中心重合；

步骤3)、将面阵探测器(5)安装在激光切割头(1)原聚焦物镜安装接口处，保证面阵探测器(5)的中心与聚焦物镜安装接口中心重合；

步骤4)、控制可控液晶面板(4)上显示圆孔图案，此时可控液晶面板(4)只在圆孔区域内透光；

步骤5)、调整激光器输出功率至最小可出射功率，光束经过多维可调电动反射镜二(3)和多维可调电动反射镜一(2)后经过可控液晶面板(4)进入激光切割头(1)，调整多维可调电动反射镜一(2)和多维可调电动反射镜二(3)位移和转角，使光束从可控液晶面板(4)的中心进入激光切割头(1)；

步骤6)、通过面阵探测器(5)接收经过激光切割头(1)中锥透镜、平凸透镜、反射镜后的圆形光斑；

步骤7)、分析面阵探测器(5)采集到的光斑能量分布，并计算出光斑能量中心位置，并与光斑外形中心位置比较，若两者距离差值小于阈值，则执行步骤8)；若两者距离差值大于阈值，则微调多维可调电动反射镜一(2)和多维可调电动反射镜二(3)位移和转角，直至光斑能量中心位置与外形中心位置距离差值小于阈值；

步骤8)、控制可控液晶面板(4)上显示十字图案，此时可控 液晶面板只在十字线透光；

步骤9)、通过面阵探测器(5)接收经过激光切割头(1)中锥透镜、平凸透镜、反射镜后的十字光斑；

步骤10)、对面阵探测器(5)接收的图像进行分析，得到十字光斑两条直线交叉点在面阵探测器(5)中的位置(x1,y1)；

步骤11)、沿聚焦物镜光轴方向移动面阵探测器(5)，移动距离为L；

步骤12)、再次通过面阵探测器(5)接收经过激光切割头(1)中锥透镜、平凸透镜、反射镜后的十字光斑；

步骤13)、对面阵探测器(5)接收的图像进行分析，得到十字光斑两条直线交叉点在面阵探测器(5)中的位置(x2,y2)；

步骤14)、根据步骤10)及步骤13)中确定的十字光斑两条直线交叉点在面阵探测器(5)中的位置，计算多维可调电动反射镜一(2)和多维可调电动反射镜二(3)位移和转角：

多维可调电动反射镜一(2)水平方向转角：

多维可调电动反射镜一(2)垂直方向转角：

多维可调电动反射镜二(3)X方向位移量：

多维可调电动反射镜二(3)Y方向位移量：

其中f为激光切割头中平凸透镜焦距，δ为激光切割头中锥透 镜锥角；

步骤15)、按照上述计算的数值，微调多维可调电动反射镜一(2)和多维可调电动反射镜二(3)位移和转角；

步骤16)、将面阵探测器(5)从激光切割头(1)聚焦物镜安装处拆卸，并安装原有聚焦物镜；

步骤17)、打开激光器，控制可控液晶面板全部透光，采用面阵探测器(5)接收经过聚焦物镜后的光束，要求面阵探测器(5)远离聚焦光斑焦点位置；

步骤18)、分析面阵探测器采集到的圆形光环光斑图像，若光环能量分布均匀则调试完毕；若光环肉眼可见能量分布不均，则再次通过控制器微调多维可调电动反射镜一(2)和多维可调电动反射镜二(3)位移和转角，直至光环能量分布均匀。

2.根据权利要求1所述的折叠光路激光切割头调试方法，其特征在于：步骤11)采用直线电机沿聚焦物镜光轴方向移动面阵探测器(5)。