[发明专利]小型量子电阻标准器

权利要求书

1.一种小型量子电阻标准器，其特征在于，包括固定背板、固定槽板、芯片托槽、磁体模块、量子霍尔电阻芯片及屏蔽罩，所述固定槽板固定于所述固定背板上，所述固定槽板上设置有凹槽，所述芯片托槽位于所述固定槽板的凹槽内；所述芯片托槽上设置有芯片容纳槽、电性连接点及导线孔，所述量子霍尔电阻芯片位于所述芯片容纳槽内，且所述量子霍尔电阻芯片与所述电性连接点电连接；所述磁体模块位于所述固定槽板及芯片托槽上；所述屏蔽罩罩设于所述磁体模块外围，且与所述固定背板相固定，所述固定背板和固定槽板同时作为导热机构；所述屏蔽罩包括金属屏蔽罩和磁体固定屏蔽罩，所述金属屏蔽罩罩设于所述磁体固定屏蔽罩的外围，且与所述固定背板相固定；所述磁体固定屏蔽罩罩设于所述磁体模块外围，且与所述固定槽板相固定。

2.根据权利要求1所述的小型量子电阻标准器，其特征在于，所述磁体模块为永磁体，所述磁体固定屏蔽罩为铁罩。

3.根据权利要求2所述的小型量子电阻标准器，其特征在于，所述磁体模块为钕铁硼永磁体，所述固定槽板和芯片托槽由无磁性材料制成。

4.根据权利要求1所述的小型量子电阻标准器，其特征在于，所述金属屏蔽罩包括圆柱形罩体和与圆柱形罩体的底部周向相连接的外沿部，所述金属屏蔽罩的外沿部与固定背板相固定；所述磁体固定屏蔽罩包括矩柱形屏蔽罩体和与矩柱形屏蔽罩体的底部周向相连接的外沿部，所述磁体固定屏蔽罩的外沿部与固定槽板相固定。

5.根据权利要求1所述的小型量子电阻标准器，其特征在于，所述金属屏蔽罩的体积大于所述磁体固定屏蔽罩的体积。

6.根据权利要求1所述的小型量子电阻标准器，其特征在于，所述芯片托槽包括芯片承载部和导线引出部，所述芯片容纳槽设置于所述芯片承载部，所述导线引出部与所述芯片承载部的端面相连接，所述导线孔设置于所述导线引出部。

7.根据权利要求1所述的小型量子电阻标准器，其特征在于，所述小型量子电阻标准器还包括制冷机，所述制冷机位于所述固定背板背离所述磁体模块的一侧，且与所述固定背板相固定。

8.根据权利要求7所述的小型量子电阻标准器，其特征在于，所述制冷机与所述固定背板通过法兰相固定。

9.根据权利要求1所述的小型量子电阻标准器，其特征在于，所述小型量子电阻标准器还包括液氮制冷单元，所述量子霍尔电阻芯片及磁体模块位于所述液氮制冷单元提供的液氮氛围中。