[发明专利]一种石墨烯薄膜转移隔离层的制备装置及方法

权利要求书

1.一种石墨烯薄膜转移隔离层的制备装置，其特征在于，从下至上依次包括加热部、升华部和冷凝部，所述升华部包括底端封闭、上端开口的容纳框，容纳框内设置有若干朝向一致的隔板，若干隔板的上端齐平，若干隔板将容纳框分隔成若干独立的容纳腔。

2.根据权利要求1所述的一种石墨烯薄膜转移隔离层的制备装置，其特征在于，所述冷凝部包括冷凝盖，冷凝盖下端设有与容纳框形状一致的密封环，密封环套于容纳框外侧，冷凝盖上端设有进气口，密封环上设有出气口。

3.根据权利要求2所述的一种石墨烯薄膜转移隔离层的制备装置，其特征在于，所述进气口位于冷凝盖中部，所述出气口有多个，且均布于密封环上。

4.根据权利要求2所述的一种石墨烯薄膜转移隔离层的制备装置，其特征在于，所述密封环内侧设有密封圈。

5.根据权利要求2所述的一种石墨烯薄膜转移隔离层的制备装置，其特征在于，所述进气口与出气口通过循环管连通，循环管上设有冷却结构。

6.根据权利要求2所述的一种石墨烯薄膜转移隔离层的制备装置，其特征在于，所述冷凝盖内侧设有朝下的支撑杆，支撑杆下端设有吸盘。

7.一种利用权利要求1-6任意一项所述的制备装置的石墨烯薄膜转移隔离层的制备方法，其特征在于，依次包括以下步骤：

步骤1，将冰片分成A质量份和B质量份的若干份，分别称为A冰片和B冰片，将A冰片和B冰片依次间隔铺设于各容纳腔内，且单位面积内的A冰片的质量份大于单位面积内的B冰片的质量份；

步骤2，将带有金属基底的石墨烯层放置于隔板上端，其中石墨烯层朝下，将各容纳腔覆盖；

步骤3，启动加热部，对升华部加热，控制温度50-250℃，使冰片升华，同时启动冷凝部，使冰片气体冷凝至石墨烯层上；

步骤4，取下石墨烯层，配置石蜡溶液，将石蜡溶液旋涂至B冰片对应的位置，形成隔离层。

8.根据权利要求7所述的石墨烯薄膜转移隔离层的制备方法，其特征在于，步骤3中，对升华部加热时，只对A冰片对应的位置加热。

9.根据权利要求8所述的石墨烯薄膜转移隔离层的制备方法，其特征在于，步骤4中，将隔板对应的位置也旋涂上石蜡溶液。

10.根据权利要求9所述的石墨烯薄膜转移隔离层的制备方法，其特征在于，A冰片与B冰片对应的容纳腔的横截面面积比为3:1-5:1。