[发明专利]保持方法以及保持装置

权利要求书

1.一种保持方法，其特征在于，实施：

支承工序，从保持对象物的一个面侧利用支承面支承该保持对象物；

流体供给工序，在所述支承工序的前阶段或者后阶段，向所述支承面供给流体；以及

固化工序，实施使所述流体固化的固化处理而使该流体固化，并利用所述支承面保持所述保持对象物，

在所述固化工序中，从隔着所述流体支承于所述支承面的所述保持对象物侧对该流体实施所述固化处理。

2.根据权利要求1所述的保持方法，其特征在于，

在所述固化工序中，在通过所述支承工序支承所述保持对象物之前，实施以所述流体不会固化的程度对该流体实施所述固化处理的流体前处理工序。

3.一种保持装置，其特征在于，具备：

支承机构，其从保持对象物的一个面侧利用支承面支承该保持对象物；

流体供给机构，其向所述支承面供给流体；以及

固化机构，其实施使所述流体固化的固化处理而使该流体固化，并利用所述支承面保持所述保持对象物，

所述固化机构从隔着所述流体支承于所述支承面的所述保持对象物侧对该流体实施所述固化处理。