[发明专利]一种港口起重机防腐涂层及制备方法

权利要求书

1.一种港口起重机防腐涂层，其特征是：所述防腐涂层由Cr子层和TiN子层在钢材基体上交替沉积而成，其最内层和最外层均为TiN子层；其中，Cr子层的厚度在0.1-0.7μm之间，TiN子层的厚度在1.5-2.5μm之间，Cr子层和TiN子层均为柱状晶结构；

所述防腐涂层通过以下步骤制得：

S1：预处理

去除钢材基体表面的油污和锈迹，之后将钢材基体放入工作室内，并将工作室抽真空至5.5-7.5×10^-3Pa；

S2：离子清洗

工作室内通入压强为0.3-0.6Pa的氩气，对钢材基体施加800-1000V的负偏压值，占空比为20-35%，对钢材基体进行时长为20-30min的离子轰击清洗；

S3：涂层的沉积

切断氩气，通入氮气，并对钢材基体施加偏压；首先开启阴极Ti靶电源，对钢材基体进行TiN子层的沉积；进行TiN子层沉积的参数为：电流70±5A，负偏压值550-750V，占空比15-25%，氮气工作压强为1.5-2.1Pa，Ti与N的原子数量比为1:1，每层沉积时间12-22min，每层沉积厚度为1.5-2.5μm；

关闭Ti靶电流、开启Cr靶电流，并切断氮气、通入氩气，对钢材基体进行Cr子层的沉积；进行Cr子层沉积的参数为：电流70±5A，负偏压值200-350V，占空比20-25%，氮气工作压强为0.15-0.4Pa，每层沉积时间1-7min，每层沉积厚度为0.1-0.7μm；钢材基体的温度为200±20℃；

依次对钢材基体进行TiN子层、Cr子层的交替沉积，其中，最外层沉积的是TiN子层。

2.如权利要求1所述的一种港口起重机防腐涂层，其特征是：Cr子层与TiN子层的总层数在11-25之间。

3.如权利要求1所述的一种港口起重机防腐涂层，其特征是：在步骤S1中，对钢材基体进行抛光，去除钢材基体表面的油污和锈迹后，依次将钢材基体放入丙酮和乙醇溶液中超声波清洗10-30min，以进一步地去除钢材基体表面的油污和其他附着物；使用电吹风吹干后，将钢材基体挂在工作室内的样品架上。

4.如权利要求3所述的一种港口起重机防腐涂层，其特征是：所述样品架能够转动，在沉积作业中，样品架的转速为3-9rpm。

5.如权利要求1所述的一种港口起重机防腐涂层，其特征是：靶基距离为15-20cm，Ti靶和Cr靶纯度为99.99wt%，Ti靶和Cr靶的直径为60mm、高度为40mm。