[发明专利]一种封装产品高温测试片模块及装置在审

专利信息
申请号: 202111478950.1 申请日: 2021-12-07
公开(公告)号: CN113917306A 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 李辉;王体 申请(专利权)人: 深圳市诺泰芯装备有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;G01R1/02;G01R1/04;H01L21/66
代理公司: 南京新众合专利代理事务所(普通合伙) 32534 代理人: 王子瑜
地址: 518100 广东省深圳市宝安区沙井*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 封装 产品 高温 测试 模块 装置
【说明书】:

发明公开了一种封装产品高温测试片模块及装置,包括测试电路板、左侧试片模块、右侧试片模块,所述左侧试片模块、右侧试片模块均包括两组以上的测试片组,所述测试片组之间依次固定在一起;每组测试片组包括导电片定位板、两个弹性测试导电片,两个弹性测试导电片安装在导电片定位板内;弹性测试导电片的一端为弹性接触端,另一端为电性连接端,所述弹性接触端用于与测试产品的一个引脚通过弹性变形接触,所述电性连接端用于与测试电路板连接,本发明不仅能够实现对封装产品的精准电性测试,而且能够根据引脚数量进行匹配组合,拓展兼容性高。

技术领域

本发明涉及一种封装产品高温测试片模块及装置,属于半导体测试领域。

背景技术

一种小型多引脚表面贴装半导体封装产品,生产制造工艺中对封装产品进行高温电性测试,用来确定产品在高温气候环境条件下储存、运输、使用的适应性的方法。经高温电性测试来检验高温环境对芯片封装产品性能的影响,表现在产品内导电材料的电阻变大,导致电流的变化,对芯片封装产品性能参数影响,一般情况下,产品经温度试验后,若能满足相关性能参数要求,便认为产品符合高温要求。

半导体封装产品的电性测试一般采用开尔文测试方法,能够消除了布线和接触电阻的阻抗。开尔文四线检测(Kelvin Four-terminal sensing)也被称之为四端子检测(4T检测, 4T sensing)、四线检测或4点探针法,它是一种电阻抗测量技术,使用单独的对载电流和电压检测电极,相比传统的两个终端( 2T)传感能够进行更精确的测量。开尔文四线检测被用于一些欧姆表和阻抗分析仪,并在精密应变计和电阻温度计的接线配置。也可用于测量薄膜的薄层电阻。四线检测的关键优点是分离的电流和电压的电极,消除了布线和接触电阻的阻抗。

这种开尔文测试方法的实际应用,就是对封装产品的每个引脚联接两个测试导电片,由于有些半导体封装产品引脚数量较多,因此需要对应的测试导电片数量就越多。在高温环境下电性开尔文测试,这对高温测试片模块的性能要求较高。传统测试片模块做法主要有通过胶水粘结的方式,将测试导电片与绝缘片粘结成一个整体;还有一种是通过塑胶模压注的方式,将测试导电片与绝缘片注塑结成一个整体。

这些做法技术的缺点和不足:胶水粘结的测试片模块,需要制造相关的装配工具,对粘结的胶水要求较高需要耐高温,粘结后测试片的相对位置精度无法保证,且胶水粘固定形后不可修复;注塑成型的测试片模块,加工成本较高,适合大批量制造,对注塑材料要求耐高温,注塑成形精度要求较高,生产周期较长,且注塑成型后不可修复,不方便兼容拓展其它产品。

发明内容

发明目的:为了克服现有技术中存在的不足,本发明提供一种容易匹配组合的封装产品高温测试片模块及装置。

技术方案:为实现上述目的,本发明采用的技术方案为:

一种封装产品高温测试片模块,包括两组以上的测试片组,所述测试片组之间依次固定在一起。每组测试片组包括导电片定位板、两个弹性测试导电片,两个弹性测试导电片安装在导电片定位板内。弹性测试导电片的一端为弹性接触端,另一端为电性连接端,所述弹性接触端用于与测试产品的一个引脚通过弹性变形接触,所述电性连接端用于与测试电路板连接。

优选的:所述弹性测试导电片包括第一弧形段和第二弧形段,所述第一弧形段的弧形开口方向和第二弧形段的弧形开口方向相反,所述弹性接触端、第一弧形段、第二弧形段、电性连接端依次连接。

优选的:所述弹性测试导电片包括第一L型段、第三弧形段、凹型段、Z型段,所述弹性接触端、第一L型段、第一弧形段、第二弧形段、第三弧形段、凹型段、Z型段、电性连接端依次连接,其中,所述弹性接触端、第一L型段、第一弧形段、第二弧形段、第三弧形段为弹性变形部位,所述凹型段、Z型段、电性连接端为固定部位,固定部位用于将弹性测试导电片固定在导电片定位板上,弹性变形部位用于弹性测试导电片进行弹性变形。

优选的:所述测试片组固定在测试片盖板上。

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