[发明专利]一种异丙醇回收装置及其回收方法在审
| 申请号： | 202111473757.9 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114225539A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 卓朋 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B01D36/00 | 分类号： | B01D36/00;B01D5/00;B01D3/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 异丙醇 回收 装置 及其 方法 | ||
1.一种异丙醇回收装置，其特征在于，包括湿法清洗腔体，所述湿法清洗腔体依次连接第一过滤器、加热装置、冷凝管、分子筛、收集器、第二过滤器、储存器，所述储存器连接在湿法清洗腔体上。
2.如权利要求1所述的异丙醇回收装置，其特征在于，所述加热装置中有加热管。
3.如权利要求2所述的异丙醇回收装置，其特征在于，所述加热管的加热温度为82℃～84℃。
4.如权利要求1所述的异丙醇回收装置，其特征在于，所述收集器中放置有浓度计。
5.如权利要求4所述的异丙醇回收装置，其特征在于，所述浓度计用于检测所述收集器中异丙醇的浓度。
6.一种异丙醇回收装置的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)利用湿法清洗腔体承载待干燥的晶圆，并进行清洗和水洗、喷入异丙醇；
2)采用第一过滤器过滤所述湿法清洗腔体排出的异丙醇中附带的颗粒及其他杂质；
3)将过滤后的异丙醇收集起来并利用加热装置进行加热，使异丙醇由液态变为气态；
4)将气态的异丙醇变为液态异丙醇；
5)收集冷凝装置中的液态异丙醇；
6)用第二过滤器过滤所述收集器中的异丙醇，；
7)用存储器存放二次过滤后的异丙醇。
7.如权利要求6所述的异丙醇回收装置的回收方法，其特征在于，步骤3)中所述加热装置的温度为82℃～84℃。
8.如权利要求6所述的异丙醇回收装置的回收方法，其特征在于，步骤4)中采用冷凝装置将气态的异丙醇变为液态异丙醇。
9.如权利要求6所述的异丙醇回收装置的回收方法，其特征在于，步骤4)中采用收集器收集冷凝装置中的液态异丙醇。
10.如权利要求9所述的异丙醇回收装置的回收方法，其特征在于，所述收集器中设置有浓度计，当收集器里的浓度计显示回收后的异丙醇浓度达到99.99％以上则进入第二过滤器过滤，低于99.99％浓度的异丙醇则返回至分子筛继续过滤。
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