[发明专利]一种宽量程电离真空计规管在审
| 申请号： | 202111472942.6 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN114354058A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 张虎忠;李得天;成永军;孙雯君;葛金国;孙冬花;姚鹏;魏建平;习振华;杨利 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01L21/32 | 分类号： | G01L21/32 |
| 代理公司： | 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 | 代理人： | 饶小平 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 量程 电离 真空计 | ||
1.一种宽量程电离真空计规管，其特征在于，包括阴极、阳极、收集极、以及法兰组件，其中：
所述阴极为侧置式阴极，位于所述阳极侧面；所述阳极为笼式半封闭栅网，所述收集极为细丝状收集极；所述阴极发射的电子经栅网进入栅网内部，在栅网内部多次振荡后，被所述收集极接收；
所述法兰组件为宽量程电离真空计规管的真空系统的机械接口。
2.如权利要求1所述的宽量程电离真空计规管，其特征在于，所述阴极为稀土氧化物阴极或者场发射阵列阴极。
3.如权利要求1所述的宽量程电离真空计规管，其特征在于，所述法兰组件为金属-陶瓷封接的不锈钢法兰。
4.如权利要求1所述的宽量程电离真空计规管，其特征在于，所述阴极为稀土氧化物阴极，工作温度低于1500K，可选用覆氧化钇铱丝或敷氧化钍铱丝。
5.如权利要求1所述的宽量程电离真空计规管，其特征在于，所述阴极为场发射阵列阴极，工作温度为室温，可选用碳纳米管阵列或Spindt金属锥尖阵列。
6.如权利要求1所述的宽量程电离真空计规管，其特征在于，所述收集极为金属细丝，材料可选用钨丝或者钼丝，根据测量范围的需求，可选择的在表面采用镀金工艺。
7.如权利要求1所述的宽量程电离真空计规管，其特征在于，所述栅网的侧壁由螺旋栅网绕制而成，栅网的螺距和高度固定。
8.如权利要求1所述的宽量程电离真空计规管，其特征在于，所述收集极的导电芯柱通过真空密封连接的方式穿过所述法兰组件，真空密封为不锈钢-可伐-陶瓷过渡焊，且焊接采用局部焊接。
9.如权利要求8所述的宽量程电离真空计规管，其特征在于，所述法兰组件的漏放气率小于10-11Pam3/s。
10.如权利要求1-9中任一项所述的宽量程电离真空计规管，其特征在于，所述宽量程电离真空计规管测量范围覆盖10-9Pa～1Pa。
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