[发明专利]一种激光划刻方法和一种太阳能电池在审
申请号: | 202111472636.2 | 申请日: | 2021-12-06 |
公开(公告)号: | CN113894432A | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 肖平;李新连;赵志国;赵东明;张赟;夏渊;秦校军;李梦洁;丁坤 | 申请(专利权)人: | 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能新能源股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/362 | 分类号: | B23K26/362;H01L31/0463;H01L31/0465;H01L31/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 柳虹 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 方法 太阳能电池 | ||
1.一种激光划刻方法,其特征在于,包括:
提供衬底,所述衬底上具有第一电极层以及位于第一电极层上的光电转换层,所述第一电极层具有第一激光划刻槽;
对所述光电转换层进行激光划刻,得到第二激光划刻槽;所述第二激光划刻槽靠近所述第一激光划刻槽的第一侧壁与所述第二激光划刻槽的底部构成钝角。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,对所述光电转换层进行激光划刻,得到第二激光划刻槽包括:
在靠近所述第一激光划刻槽的区域对所述光电转换层进行激光划刻时,所述光电转换层与激光形成钝角,得到所述第二激光划刻槽。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述激光的中心波长根据所述光电转换层的材料进行确定。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:
在所述光电转换层上形成第二电极层,所述第二电极层至少覆盖所述第二激光划刻槽的第一侧壁和底部。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,还包括:
对靠近所述第二激光划刻槽的区域所述第二电极层进行激光划刻,得到第三激光划刻槽,所述第三激光划刻槽的深度为所述光电转换层的厚度和所述第二电极层的厚度之和。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的方法,其特征在于,所述第一激光划刻槽的深度为所述第一电极层的厚度,所述第二激光划刻槽的深度为所述光电转换层的厚度。
7.根据权利要求1-5任意一项所述的方法,其特征在于,所述光电转换层为有机光电转换层、铜铟镓硒光电转成层、碲化镉光电转换层或钙钛矿光电转换层。
8.根据权利要求1-5任意一项所述的方法,其特征在于,所述第一侧壁与所述第二激光划刻槽的底部构成钝角的角度小于150°。
9.一种太阳能电池,其特征在于,包括:
衬底,所述衬底上具有第一电极层以及位于第一电极层上的光电转换层,所述第一电极层具有第一激光划刻槽;
所述光电转换层具有第二激光划刻槽;所述第二激光划刻槽靠近所述第一激光划刻槽的第一侧壁与所述第二激光划刻槽的底部构成钝角。
10.根据权利要求9所述的太阳能电池,其特征在于,还包括:
所述光电转换层上形成有第二电极层,所述第二电极层至少覆盖所述第二激光划刻槽的第一侧壁和底部;
所述第二电极层具有第三激光划刻槽,所述第三激光划刻槽靠近所述第二激光划刻槽,远离所述第一激光划刻槽。
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