[发明专利]基于SiON起偏器的光纤陀螺用SiN基集成光学芯片有效
| 申请号： | 202111472069.0 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN113865578B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 刘晓平;吕海斌 | 申请（专利权）人： | 深圳奥斯诺导航科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/72 | 分类号： | G01C19/72;G02B6/27;G02B6/14 |
| 代理公司： | 深圳市壹壹壹知识产权代理事务所(普通合伙) 44521 | 代理人： | 师勇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 sion 起偏器 光纤 陀螺 sin 集成 光学 芯片 | ||
1.一种基于SiON起偏器的光纤陀螺用SiN基集成光学芯片，其特征在于，包括第一光纤-波导模式转换器、第二光纤-波导模式转换器、第一3dB耦合器、SiON起偏器、第二3dB耦合器以及第三光纤-波导模式转换器、第四光纤-波导模式转换器，
第一光纤-波导模式转换器一端通过光纤与外部光源相连，第一光纤-波导模式转换器的另一端与第一3dB耦合器的一个分支相连；第二光纤-波导模式转换器一端通过光纤与外部光电探测器相连，第二光纤-波导模式转换器的另一端与第一3dB耦合器的另一个分支相连；第一3dB耦合器的基波导与SiON起偏器的一端相连；SiON起偏器的另一端与第二3dB耦合器的基波导相连；第二3dB耦合器的一个分支与第三光纤-波导模式转换器一端相连，第二3dB耦合器的另一个分支与第四光纤-波导模式转换器一端相连；第三光纤-波导模式转换器的另一端与外部光纤环一端相连；第四光纤-波导模式转换器的另一端与外部光纤环另一端相连。
2. 如权利要求1所述的基于SiON起偏器的光纤陀螺用SiN基集成光学芯片，其特征在于，所述第一、第二、第三、第四光纤-波导模式转换器均采用inversed taper结构实现与输入保偏光纤的模场直径匹配，工作波长范围为800-900nm。
3.如权利要求1所述的基于SiON起偏器的光纤陀螺用SiN基集成光学芯片，其特征在于，所述第一3dB耦合器和第二3dB耦合器采用1×2MMI耦合器或者Y型分束器实现，工作波长范围为800-900nm。
4.如权利要求1所述的基于SiON起偏器的光纤陀螺用SiN基集成光学芯片，其特征在于，所述SiON起偏器的结构组成从上到下依次为SiO2上包层、SiON上包层、SiO2中间层、SiN波导、SiO2下包层、Si衬底。
5.如权利要求4所述的基于SiON起偏器的光纤陀螺用SiN基集成光学芯片，其特征在于，SiON上包层厚度≥1mm，其垂直于SiN波导方向上的宽度≥3mm；SiN波导厚度与光纤-波导模式转换器的波导厚度保持一致。
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