[发明专利]一种SnTe基热电材料表面高结合强度低接触电阻阻挡层的制备方法有效
申请号: | 202111469874.8 | 申请日: | 2021-12-03 |
公开(公告)号: | CN114171667B | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 郭逢凯;隋解和;蔡伟 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | H01L35/34 | 分类号: | H01L35/34;H01L35/02 |
代理公司: | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人: | 侯静 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 snte 热电 材料 表面 结合 强度 接触 电阻 阻挡 制备 方法 | ||
1.一种SnTe基热电材料表面高结合强度低接触电阻阻挡层的制备方法,其特征在于它是按照以下步骤进行的:
一、将成分为Sn0.88Mn0.12Te的热电材料研磨成细粉,得到合金粉末;
二、将Fe粉和Mn粉混合均匀,得到Fe-Mn混合粉;
所述的Fe粉与Mn粉的体积比1:(0.8~1.25);
三、将合金粉末置于石墨模具中并将表面压平,然后将Fe-Mn混合粉铺在合金粉末上并压紧,在温度为450℃~600℃及压力为40MPa~80MPa的条件下,烧结5min~10min,即完成SnTe基热电材料表面高结合强度低接触电阻阻挡层的制备。
2.根据权利要求1所述的一种SnTe基热电材料表面高结合强度低接触电阻阻挡层的制备方法,其特征在于步骤一中所述的合金粉末的粒径为15μm~75μm。
3.根据权利要求1所述的一种SnTe基热电材料表面高结合强度低接触电阻阻挡层的制备方法,其特征在于步骤二中所述的Fe粉粒径为5μm~45μm。
4.根据权利要求1所述的一种SnTe基热电材料表面高结合强度低接触电阻阻挡层的制备方法,其特征在于步骤二中所述的Mn粉粒径为5μm~45μm。
5.根据权利要求1所述的一种SnTe基热电材料表面高结合强度低接触电阻阻挡层的制备方法,其特征在于步骤一中所述的合金粉末的粒径为15μm~45μm。
6.根据权利要求1所述的一种SnTe基热电材料表面高结合强度低接触电阻阻挡层的制备方法,其特征在于步骤二中所述的Fe粉粒径为1250目;步骤二中所述的Mn粉粒径为325目。
7.根据权利要求1所述的一种SnTe基热电材料表面高结合强度低接触电阻阻挡层的制备方法,其特征在于步骤二中所述的Fe粉与Mn粉的体积比1:(1~1.25)。
8.根据权利要求1所述的一种SnTe基热电材料表面高结合强度低接触电阻阻挡层的制备方法,其特征在于步骤二中所述的Fe粉与Mn粉的体积比1:1.1。
9.根据权利要求1所述的一种SnTe基热电材料表面高结合强度低接触电阻阻挡层的制备方法,其特征在于步骤三中在温度为500℃~600℃及压力为60MPa~80MPa的条件下,烧结8min~10min。
10.根据权利要求1所述的一种SnTe基热电材料表面高结合强度低接触电阻阻挡层的制备方法,其特征在于步骤三中在温度为500℃及压力为60MPa的条件下,烧结10min。
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