[发明专利]一种电力半导体器件阴极图形设计在审

专利信息
申请号: 202111469244.0 申请日: 2021-12-03
公开(公告)号: CN114284350A 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 王峰瀛;张磊;张婷婷;杨俊艳;杨娟宁 申请(专利权)人: 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司
主分类号: H01L29/417 分类号: H01L29/417
代理公司: 西安文盛专利代理有限公司 61100 代理人: 彭冬英
地址: 710077 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 电力 半导体器件 阴极 图形 设计
【权利要求书】:

1.一种电力半导体器件阴极图形设计,包括门极引出电极(1)、阴极梳条(2)、终端台面(3),所述阴极梳条(2)周围为整体连通的门极区,门极表面覆有一层绝缘材料,在器件表面设有门极引出电极(1),门极引出电极(1)结构包括中心门极(1-1)、中间门极(1-2)、边缘门极(1-3)和多门极组合设计,器件最外圈为终端台面(3),其特征在于:所述阴极梳条(2)长度根据距离门极引出电极(1)距离增加而减短;所述阴极梳条(2)宽度根据距离门极引出电极(1)距离增加而减小;所述阴极梳条(2)面积根据距离门极引出电极(1)距离增加而减少;所述阴极梳条(2)同心排布密度根据距离门极引出电极(1)距离增加而降低。

2.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:所述阴极梳条(2)为圆角矩形或圆角梯形结构。

3.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:所述阴极梳条(2)以器件几何圆心为中心,从中心到器件边缘按不同间距同心排布。

4.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:所述阴极梳条(2)同心排布圈数为2~20圈。

5.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:相邻同心排布阴极梳条(2)长度差异在1%~10%之间,芯片内部阴极梳条(2)最大差异在5%~80%之间。

6.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:相邻同心排布阴极梳条(2)宽度差异在1%~10%之间,芯片内部阴极梳条(2)最大差异在5%~80%之间。

7.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:相邻同心排布阴极梳条(2)面积差异在1%~10%之间,芯片内部阴极梳条(2)最大差异在5%~90%之间。

8.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:相邻同心阴极梳条(2)排布密度差异在1%~10%之间,芯片内部阴极梳条(2)排布密度最大差异在5%~80%之间。

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