[发明专利]一种电力半导体器件阴极图形设计在审
申请号: | 202111469244.0 | 申请日: | 2021-12-03 |
公开(公告)号: | CN114284350A | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 王峰瀛;张磊;张婷婷;杨俊艳;杨娟宁 | 申请(专利权)人: | 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/417 | 分类号: | H01L29/417 |
代理公司: | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人: | 彭冬英 |
地址: | 710077 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电力 半导体器件 阴极 图形 设计 | ||
1.一种电力半导体器件阴极图形设计,包括门极引出电极(1)、阴极梳条(2)、终端台面(3),所述阴极梳条(2)周围为整体连通的门极区,门极表面覆有一层绝缘材料,在器件表面设有门极引出电极(1),门极引出电极(1)结构包括中心门极(1-1)、中间门极(1-2)、边缘门极(1-3)和多门极组合设计,器件最外圈为终端台面(3),其特征在于:所述阴极梳条(2)长度根据距离门极引出电极(1)距离增加而减短;所述阴极梳条(2)宽度根据距离门极引出电极(1)距离增加而减小;所述阴极梳条(2)面积根据距离门极引出电极(1)距离增加而减少;所述阴极梳条(2)同心排布密度根据距离门极引出电极(1)距离增加而降低。
2.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:所述阴极梳条(2)为圆角矩形或圆角梯形结构。
3.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:所述阴极梳条(2)以器件几何圆心为中心,从中心到器件边缘按不同间距同心排布。
4.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:所述阴极梳条(2)同心排布圈数为2~20圈。
5.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:相邻同心排布阴极梳条(2)长度差异在1%~10%之间,芯片内部阴极梳条(2)最大差异在5%~80%之间。
6.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:相邻同心排布阴极梳条(2)宽度差异在1%~10%之间,芯片内部阴极梳条(2)最大差异在5%~80%之间。
7.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:相邻同心排布阴极梳条(2)面积差异在1%~10%之间,芯片内部阴极梳条(2)最大差异在5%~90%之间。
8.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形设计,其特征在于:相邻同心阴极梳条(2)排布密度差异在1%~10%之间,芯片内部阴极梳条(2)排布密度最大差异在5%~80%之间。
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