[发明专利]一种测温装置及方法

说明书

本申请提供了一种测温装置，用于测量涡轮分子泵的主轴温度，所述涡轮分子泵包括：泵体；主轴，可旋转的设置在所述泵体内；涡轮转子，设置在所述泵体内，与所述主轴固定连接形成轴系转子；静涡轮级，与所述涡轮转子交替配合布置；驱动装置，能够驱动所述主轴转动，使得所述涡轮转子能够相对所述静涡轮级转动；其特征在于，所述测温装置包括：至少一个距离传感器，设置在所述壳体内，用于获取所述主轴的径向尺寸变化；处理单元，与所述距离传感器电连接，用于根据所述主轴的径向尺寸变化，确定所述主轴的温度。

技术领域

本申请涉及真空泵技术领域，具体涉及一种测温装置及方法。

背景技术

分子泵是一种高速旋转机械设备，利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体分子获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。广泛应用于工业检漏、化学气相沉积、真空电子器件制造、光学镀膜以及电子束焊接等多个领域。

随着应用产业越来越多的工艺负载需求，分子泵运行的可靠性及实时状态监测也越来越重要，尤其是对分子泵的实际温度的非接触式实时监测越来越重要。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例致力于提供一种测温装置及方法，通过检测涡轮分子泵的主轴因温度变化引起的径向尺寸变化，实现对主轴温度的实时检测。

第一方面，提供一种测温装置，用于测量涡轮分子泵的主轴温度，其特征在于，所述涡轮分子泵包括：泵体；主轴，可旋转的设置在所述泵体内；涡轮转子，设置在所述泵体内，与所述主轴固定连接形成轴系转子；静涡轮级，与所述涡轮转子交替配合布置；驱动装置，能够驱动所述主轴转动，使得所述涡轮转子能够相对所述静涡轮级转动，所述测温装置包括：至少一个距离传感器，设置在所述泵体内，用于确定所述主轴的径向尺寸；处理单元，与所述距离传感器电连接，用于根据所述主轴的径向尺寸，确定所述主轴的温度。

可选地，所述测温装置包括：至少两个距离传感器；所述确定所述主轴的径向尺寸包括根据所述至少两个距离传感器的检测结果的均值，确定所述径向尺寸。

可选地，所述至少两个距离传感器沿所述主轴的转动方向均匀布置。

可选地，所述距离传感器为电涡流传感器。

可选地，所述驱动装置包括定子，所述距离传感器通过螺纹紧固件或粘接胶封固定在所述定子上。

第二方面，提供一种测温方法，用于测量涡轮分子泵的主轴温度，其特征在于，所述涡轮分子泵包括：泵体；主轴，可旋转的设置在所述泵体内；涡轮转子，设置在所述泵体内，与所述主轴固定连接形成轴系转子；静涡轮级，与所述涡轮转子交替配合布置；驱动装置，能够驱动所述主轴转动，使得所述涡轮转子能够相对所述静涡轮级转动，所述方法包括：确定所述主轴的径向尺寸；根据所述主轴的径向尺寸，确定所述主轴的温度。

可选地，所述确定所述主轴的径向尺寸包括：利用设置在所述泵体内的至少一个距离传感器，确定所述主轴的径向尺寸。

可选地，所述确定所述主轴的径向尺寸包括：利用设置在所述泵体内的至少两个距离传感器，根据所述至少两个距离传感器的检测结果的均值，确定所述主轴的径向尺寸。

可选地，所述至少两个距离传感器沿所述主轴的回转方向均匀布置。

可选地，所述距离传感器为电涡流传感器。

本申请实施例提供的测温装置及方法，利用设置在涡轮分子泵的泵体内的距离传感器测量主轴的径向尺寸，基于热胀冷缩的原理，根据主轴的径向尺寸变化确定主轴的温度，实现了对主轴温度的非接触式测量，能够在保证测量精度的同时降低成本。

附图说明

图1所示为本申请实施例提供的涡轮分子泵的结构示意图。

图2为本申请实施例提供的测温装置的结构示意图。