[发明专利]燃烧器的控制方法及装置

说明书

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种燃烧器的控制方法及装置，燃烧器的控制方法包括：点火控制模式：调节调节阀的开度；确定助燃气体的流量值等于第一设定流量值；固定调节阀的开度，启动运行控制模式；运行控制模式：调节变频器的频率；确定助燃气体的流量值等于第二设定流量值；固定变频器的频率。根据不同模式采用不同的控制方法，通过设定不同的第一设定流量值与第二设定流量值，控制不同模式下的助燃气体的流量。同时采用调节阀与变频器共同控制，避免了因单独使用变频器控制助燃气体流量，在所需流量低时，因风机在低频率区间运行，造成风机损坏的问题，以及单独使用控制阀控制流量，当使用流量低时，因风机憋压，造成风机损坏的问题。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种燃烧器的控制方法及装置。

背景技术

在半导体制造、液晶面板制造等使用的废气处理装置中，燃烧式废气处理装置使用广泛。燃烧式废气处理装置的热源通过燃气和空气燃烧提供。目前半导体废气处理装置使用的助燃气体为压缩空气，燃烧式废气处理装置需要使用压缩空气作为助燃气体，能源消耗量大，使用成本高。而且单独使用变频器控制流量，在使用流量低时，会造成风机在低频率区间运行，进而导致风机损坏，单独使用控制阀控制流量，当使用流量低时，会造成风机憋压，同样容易导致风机损坏。

发明内容

本发明提供一种燃烧器的控制方法及装置，用以解决现有技术中单独使用变频器或控制阀控制助燃气体流量，在使用流量低时，容易导致风机损坏的缺陷，实现根据不同模式采用不同的控制方法，控制不同模式下的助燃气体的流量，采用调节阀与变频器共同控制，避免了因单独使用变频器控制助燃气体流量，在所需流量低时，因风机在低频率区间运行，造成风机损坏的问题，以及单独使用控制阀控制流量，当使用流量低时，因风机憋压，造成风机损坏的问题的效果。

本发明提供一种燃烧器的控制方法，包括：

点火控制模式：

调节调节阀的开度；

确定助燃气体的流量值等于第一设定流量值；

固定调节阀的开度，启动运行控制模式；

运行控制模式：

调节变频器的频率；

确定助燃气体的流量值等于第二设定流量值；

固定变频器的频率。

根据本发明提供的一种燃烧器的控制方法，在所述确定助燃气体的流量值等于第二设定流量值的步骤前还包括：

确定变频器的频率小于第一设定频率。

根据本发明提供的一种燃烧器的控制方法，在所述确定助燃气体的流量值等于第二设定流量值的步骤前还包括：

确定变频器的频率大于或等于第一设定频率；

固定变频器的频率为第一设定频率，调节调节阀的开度。

根据本发明提供的一种燃烧器的控制方法，在所述调节变频器的频率的步骤后还包括：

确定助燃气体的流量值不等于第二设定流量值；

返回所述调节变频器的频率。

根据本发明提供的一种燃烧器的控制方法，在所述调节调节阀的开度的步骤后，还包括：

确定助燃气体的流量值不等于第一设定流量值；

返回所述调节调节阀的开度的步骤。

根据本发明提供的一种燃烧器的控制方法，所述点火控制模式还包括：

打开闸阀，控制风机的运行频率为第二设定频率。