[发明专利]PCB等离子体处理设备及其控制方法

权利要求书

1.一种PCB等离子体处理设备，其特征在于，包括：

机架（100）；

处理腔室（200），所述处理腔室（200）设置在所述机架（100）上，所述处理腔室（200）上开设有第一开口（210）和第二开口（220），所述处理腔室（200）用于对PCB制品（1）进行等离子体处理；

进料腔室（300），所述进料腔室（300）设置在所述机架（100）上，所述进料腔室（300）通过所述第一开口（210）与所述处理腔室（200）连通，所述进料腔室（300）上开设有进料开口（310）；

卸料腔室（400），所述卸料腔室（400）设置在所述机架（100）上，所述卸料腔室（400）通过所述第二开口（220）与所述处理腔室（200）连通，所述卸料腔室（400）上开设有卸料开口（410）；

若干密封门（110），若干所述密封门（110）分别可活动地设置在所述第一开口（210）、所述第二开口（220）、所述进料开口（310）和所述卸料开口（410）上，所述密封门（110）用于开启和关闭对应开口；以及

真空装置（120），所述处理腔室（200）、所述进料腔室（300）和所述卸料腔室（400）均分别与所述真空装置（120）连接；

还包括连接装置（900），所述连接装置（900）可活动地设置在相邻的两个腔室之间，当位于所述第一开口（210）和所述第二开口（220）处的所述密封门（110）打开对应开口时，所述连接装置（900）连接相邻的两个腔室，当所述密封门（110）关闭对应开口时，所述密封门（110）驱动所述连接装置（900）运动至收起状态，相邻的两个腔室之间的连接断开；

所述连接装置（900）包括轨道（910），所述轨道（910）可活动地设置在相邻的两个腔室之间，所述轨道（910）包括固定端（911）和活动端（912），所述固定端（911）可转动地设置在其中一个腔室中，所述活动端（912）搭在另一个腔室中，所述密封门（110）滑动将所述活动端（912）顶起至收起状态。

2.根据权利要求1所述的PCB等离子体处理设备，其特征在于，所述进料腔室（300）中设置有加热装置（500），所述加热装置（500）用于对PCB制品（1）进行预热。

3.根据权利要求2所述的PCB等离子体处理设备，其特征在于，所述加热装置（500）为并列设置的多组电加热管（510）。

4.根据权利要求1所述的PCB等离子体处理设备，其特征在于，还包括密封装置（600），所述密封装置（600）设置在所述机架（100）上，在所述密封门（110）关闭对应开口时，所述密封装置（600）用于将所述密封门（110）压紧于对于开口的边缘。

5.根据权利要求4所述的PCB等离子体处理设备，其特征在于，所述密封装置（600）包括：

导轨（610），所述导轨（610）设置在所述密封门（110）的两侧，所述密封门（110）可沿所述导轨（610）滑动，所述导轨（610）的末端设置弯折部（611），所述弯折部（611）朝向所述密封门（110）对应的开口弯折；以及

驱动组件（620），所述驱动组件（620）驱动所述密封门（110）沿所述导轨（610）滑动。

6.根据权利要求1所述的PCB等离子体处理设备，其特征在于，还包括：

料架小车（700），若干片PCB制品（1）装载在所述料架小车（700）上；以及

推送装置（800），所述推送装置（800）设置在所述进料腔室（300）中，所述推送装置（800）用于推动所述料架小车（700）在各个腔室中滑动前进。

7.根据权利要求6所述的PCB等离子体处理设备，其特征在于，所述推送装置（800）包括挡块（810），所述挡块（810）可滑动地设置在所述进料腔室（300）中，所述料架小车（700）包括挡板（710），所述挡块（810）向前滑动时，所述挡块（810）与所述挡板（710）相抵带动所述料架小车（700）向前滑动。

8.一种PCB等离子体处理设备的控制方法，该PCB等离子体处理设备为根据权利要求1-7中任一项所述的PCB等离子体处理设备，其特征在于，所述控制方法包括：

打开所述进料开口（310），将PCB制品（1）推入所述进料腔室（300）中，关闭所述进料开口（310）；

所述进料腔室（300）和所述卸料腔室（400）抽真空，当所述进料腔室（300）和所述卸料腔室（400）的真空值均与所述处理腔室（200）一致时，打开第一开开口和所述第二开口（220），将PCB制品（1）推入到所述处理腔室（200）中，同时将所述处理腔室（200）中已完成等离子体处理的PCB制品（1）推如到所述卸料腔室（400）中，关闭所述第一开口（210）和所述第二开口（220）；

入料腔室和所述卸料腔室（400）同时破真空至大气状态，打开所述进料开口（310）和所述卸料开口（410），从所述卸料开口（410）取出处理好的PCB制品（1），并将下一件待处理的PCB制品（1）从所述进料开口（310）处推入所述进料腔室（300）中。