[发明专利]一种单轴差分谐振梁表头模组及加速度计

权利要求书

1.一种单轴差分谐振梁表头模组，其特征在于，包括真空密封件和两个TO部件；

所述真空密封件包括一两端开口的密封腔体；

两个所述TO部件对称封装于所述密封腔体的两端；每一所述TO部件包括TO底座、谐振梁芯片、ASIC混合集成电路、吸气剂组件、吸气剂挡板、陶瓷柱和插针；所述TO底座上形成有一端开口的容置腔，所述插针连接于所述TO底座上并伸入所述容置腔，所述陶瓷柱安装于所述插针外侧以保证插针和所述TO底座的绝缘，所述ASIC混合集成电路安装于所述陶瓷柱的端面，所述谐振梁芯片连接于插针的端部，且所述ASIC混合集成电路位于所述谐振梁芯片和所述容置腔的底面之间，所述吸气剂组件安装于所述TO底座且固定连接于所述ASIC混合集成电路远离所述谐振梁芯片的一侧，所述吸气剂挡板安装于所述TO底座的容置腔开口处，所述吸气剂组件和所述ASIC混合集成电路分别位于所述吸气剂挡板的两侧；两个所述TO部件具有谐振梁芯片的一端相对设置。

2.根据权利要求1所述的单轴差分谐振梁表头模组，其特征在于，每一所述吸气剂组件包括吸气剂、两个吸气剂引线、两个引线焊盘、两个吸气剂陶瓷柱和两个吸气剂插针，两个所述吸气剂引线分别连接于所述吸气剂的两端，所述吸气剂插针间隔安装于所述TO底座并一端伸入所述容置腔，所述吸气剂陶瓷柱安装于所述吸气剂插针外侧以保证吸气剂插针和所述TO底座的绝缘，两个吸气剂引线分别通过两个所述引线焊盘连接在两个吸气剂插针的端部。

3.根据权利要求2所述的单轴差分谐振梁表头模组，其特征在于，所述吸气剂挡板和所述吸气剂之间的间隙不小于0.5mm。

4.根据权利要求2所述的单轴差分谐振梁表头模组，其特征在于，所述ASIC混合集成电路与所述吸气剂挡板之间的间隙不小于0.2mm。

5.根据权利要求1所述的单轴差分谐振梁表头模组，其特征在于，所述真空密封件还包括抽气铜管，所述抽气铜管气密焊接于所述密封腔体的外侧，所述抽气铜管和所述密封腔体的内部空间连通。

6.根据权利要求1所述的单轴差分谐振梁表头模组，其特征在于，所述TO底座上形成有环形凸缘，所述环形凸缘具有用于与所述密封腔体的端面气密封接的封接端面。

7.一种加速度计，其特征在于，包括三轴支架和四个如权利要求1至6任一项所述的表头模组，所述三轴支架具有一个安装面和四个倾斜设置的装配面，所述安装面位于所述三轴支架的底端，四个所述装配面依次沿所述三轴支架的周向设置形成一个底面尺寸大于顶面尺寸的四棱台结构，每一所述装配面上形成有一装配孔，四个所述表头模组一一对应的通过安装于所述装配孔。

8.根据权利要求7所述的加速度计，其特征在于，所有所述装配面的法线所在直线相交于一点，所述装配面的法线与所述安装面的法线方向夹角范围为50°～60°之间。

9.根据权利要求7所述的加速度计，其特征在于，所述表头模组与所述三轴支架装配后通过固定螺钉锁紧。