[发明专利]一种拉晶装置在审
| 申请号: | 202111425047.9 | 申请日: | 2021-11-27 |
| 公开(公告)号: | CN114086242A | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
| 发明(设计)人: | 陈建民;赵丽萍;张文涛;惠小青;蔡水占;钱俊有;张建中;任保国;韩笑;冯玉杰;王军霞 | 申请(专利权)人: | 河南鸿昌电子有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B30/02;C30B30/04 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 461500 河南省许昌*** | 国省代码: | 河南;41 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 装置 | ||
本发明涉及晶粒生产设备技术领域,名称是一种拉晶装置,包括拉晶炉,所述的拉晶炉具有炉腔,还有放置在炉腔中的拉晶管,所述的拉晶炉上具有磁极或电场,所述的炉腔就在磁场或电场中,它还包括有引子,所述的引子包括设置在拉晶管中的金属丝;所述的金属丝是多根的,多根金属丝相互平行设置;所述的金属丝的长度方向平行或垂直拉晶管长度方向;所述的金属丝端部是在拉晶管上的。这样的拉晶装置能够生产出质地更加均匀、拉晶效果更好、品质更加优良的晶棒。
技术领域
本发明涉及晶粒生产设备技术领域,特别是涉及拉晶设备。
背景技术
晶粒是半导体制冷件生产过程中需要用到的重要材料,它是由晶棒切割而成的,所述的晶粒(晶棒)是由排列整齐的分子组成的,所述晶棒是在拉晶装置中进行的,所述的拉晶装置包括拉晶炉,所述的拉晶炉具有炉腔,还有放置在炉腔中的拉晶管,所述的拉晶炉上具有磁极或电场,所述的炉腔就在磁场或电场中,拉晶时,先把粉末状的原料(半导体原料)放置在拉晶管中,拉晶管放置在拉晶炉中,原料在拉晶管中熔融、分子重新排列、凝固形成晶棒,这个过程就是拉晶,将晶棒切割就变成了小块的晶粒,小块的晶粒就能用来制造半导体制冷件,所以拉晶的过程关系到晶棒分子的排列,分子排列整齐有利于致冷件的质量效率和其他产品质量。
现有技术中,所述的拉晶管中没有帮助原料排列的引子,致使拉晶速度慢,拉晶效果较差。
发明内容
本发明的目的就是针对上述缺点,提供一种拉晶速度块,拉晶效果好的拉晶装置。
本发明的技术方案是这样实现的,一种拉晶装置,包括拉晶炉,所述的拉晶炉具有炉腔,还有放置在炉腔中的拉晶管,所述的拉晶炉上具有磁极或电场,所述的炉腔就在磁场或电场中,其特征是:它还包括有引子,所述的引子包括设置在拉晶管中的金属丝。
进一步地讲,所述的金属丝是多根的,多根金属丝相互平行设置。
进一步地讲,所述的金属丝的长度方向平行或垂直拉晶管长度方向。
进一步地讲,所述的金属丝端部是在拉晶管上的。
进一步地讲,所述的金属丝是在一个浮球上的,所述的浮球是空芯的金属球。
进一步地讲,所述的金属丝是镍丝、钢丝、钼丝、金丝、银丝、铁丝等。
进一步地讲,所述的金属线下端还连接在下坠件上。
进一步地讲,所述的上浮球周围是配合拉晶管内部截面的结构。
进一步地讲,所述的下坠件周围是配合拉晶管底部的结构。
较好的,所述的金属丝是铁钴镍或其合金。
进一步地讲,所述的金属丝的截面是方形或圆形的结构。
进一步地讲,所述的金属丝的截面面积是0.2—0.5平方毫米。
本发明的有益效果是:这样的拉晶装置能够生产出质地更加均匀、拉晶效果更好、品质更加优良的晶棒。
附图说明
图1是本发明第一种情况的纵剖面结构示意图。
图2是本发明第二种情况的纵剖面结构示意图。
图3是本发明第三种情况的纵剖面结构示意图。
图4是图1、图3中的A—A截面结构示意图。
图5是图2中的A—A截面结构示意图。
图6是一种金属丝的截面示意图。
其中: 1、拉晶炉 11、炉腔 2、拉晶管 3、金属丝 4、浮球 5、坠件。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南鸿昌电子有限公司,未经河南鸿昌电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111425047.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:信号的生成方法、生成装置及生成设备
- 下一篇:一种麻醉科用可拆卸式护理头枕





