[发明专利]一种快速冷却的镀膜样品台装置及其应用

权利要求书

1.一种快速冷却的镀膜样品台装置，其特征在于，包括冷却台（2）、样品台（5）及升降部（6）、传动部（7）；

所述冷却台（2）下方设置有样品挡板（3），样品挡板（3）通过相应连接件与冷却台（2）在竖直方向上相对固定连接，并能够在外力作用下实现其在冷却台（2）正下方与偏离冷却台（2）正下方两处位置的切换；

所述冷却台（2）内设置有冷却介质容纳腔（21），并由一传输管（4）通至冷却介质容纳腔（21）内，所述传输管（4）与冷却台（2）固定连接，且传输管（4）向外延伸连通至外部冷源；所述冷却台（2）的底端位于冷却介质容纳腔（21）的下方开有一开口朝下的样品槽（22），所述样品槽（22）内设置有样品台（5），样品台（5）以能够沿水平方向滑动的方式设置于样品槽（22）内，样品台（5）的下端面作为用于固定样品的工作面；

所述冷却台（2）的外部设置有用于控制冷却台（2）升降的升降部（6），升降部（6）连接有用于与外界驱动源相连接的传动部（7）。

2.根据权利要求1所述的快速冷却的镀膜样品台装置，其特征在于，所述样品槽（22）设置成燕尾槽结构，所述冷却台（2）在竖直方向上的截面设为等腰梯形，以与样品槽（22）相配合。

3.根据权利要求2所述的快速冷却的镀膜样品台装置，其特征在于，所述样品槽（22）的外端通至样品台（5）的侧端面，用于样品台（5）由样品槽（22）中滑出。

4.根据权利要求1所述的快速冷却的镀膜样品台装置，其特征在于，所述样品台（5）采用铜材质。

5.根据权利要求1所述的快速冷却的镀膜样品台装置，其特征在于，所述升降部（6）包括与传输管（4）固定相连的调节盘（62），升降部（6）通过调节盘（62）与传动部（7）的相应部件相连接。

6.根据权利要求1或5所述的快速冷却的镀膜样品台装置，其特征在于，所述传动部（7）包括传动齿轮（71）、丝杆（72）、限位柱（73）、调节块（74），传动齿轮（71）芯部与丝杆（72）固定相连，调节块（74）穿设在丝杆（72）和限位柱（73）上，调节块（74）与限位柱（73）以滑动方式相连，调节块（74）与丝杆（72）以螺纹方式相连，所述调节块（74）的外端与升降部（6）的相应部件相连接，用于控制升降部（6）的升降。

7.根据权利要求6所述的快速冷却的镀膜样品台装置，其特征在于，所述传动部（7）还包括一竖直方向的刻度盘（75），调节块（74）上连接有与刻度盘（75）相适配的指针（76）。

8.根据权利要求1所述的快速冷却的镀膜样品台装置，其特征在于，所述冷却台的侧端设有一挡圈，样品挡板（3）的侧端固定连接有一连接杆，连接杆穿过该挡圈并向上延伸，连接杆上固定设置有一位于挡圈上方的卡块。

9.如权利要求1-8任一项所述的快速冷却的镀膜样品台装置的应用，其特征在于，应用于电子束蒸发镀膜设备中，用于低熔点金属/化合物薄膜的制备。

10.根据权利要求9所述的应用，其特征在于，将所述冷却台置于电子束蒸发镀膜设备的内腔中、靶材的上方，将传动部和升降部通过法兰盘安装在电子束蒸发镀膜设备的顶部，通过控制冷却台的升降来调节工作距离即位于样品台下端面的样品距靶材的距离，向冷却介质容纳腔中通入液氮降温，实施低温镀膜。