[发明专利]一种带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的获取方法

权利要求书

1.一种带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的获取方法，其特征在于，包括:

规划晶圆上实际像素尺寸测量的工作区域；

将全部待测像素对应的放大倍率区分为第一放大倍率和相对更高的第二放大倍率，且各自包括一或多个不同的放大倍率值；

当获取所述第一放大倍率对应的待测像素的实际像素尺寸时，在模板图像中提取满足预设条件的模板，所述模板包括一或多个子模板，所述子模板包括子图像和/或独立特征点；

当获取所述第二放大倍率对应的待测像素的实际像素尺寸时，在模板图像中提取基于曲线的图像类模板或曲线类模板作为模板；

依次获得所述第一放大倍率和第二放大倍率对应的实际像素尺寸，其步骤均包括：移动晶圆采集目标图像，用所述模板在目标图像中进行匹配，获取所述模板的位置和匹配位置之间的目标位移，根据晶圆实际位移和所述目标位移获得实际像素尺寸。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

当规划晶圆上实际像素尺寸测量的工作区域时，根据当前设备对所述晶圆的工作任务确定晶圆的本职工作区域，在选择所述工作区域时，选择和所述本职工作区域无重叠的区域作为工作区域，所述本职工作区域包括能够事先确定的本职工作区域和不能事先确定的本职工作区域。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当在所述模板图像中提取基于曲线的图像类模板或曲线类模板作为模板时，先对图像进行预处理，所述预处理包括梯度运算和边缘细化，以获得所述模板图像中的曲线，然后选取一基于曲线的图像类模板或曲线类模板；当在根据所述模板在目标图像中进行模板匹配以获得匹配位置时，先对所述目标图像进行所述预处理，以获得所述目标图像中的曲线，然后进行所述模板匹配以获得匹配位置。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述模板图像中提取基于曲线的图像类模板作为模板包括：

获取所述模板图像中两条候选曲线不含各自端点的最近距离，当所述最近距离为零形成实际交汇或小于等于既定阈值形成准交汇时，将两条所述候选曲线确定为交汇或准交汇曲线，在二者最近处获取子图像，将每一所述交汇或准交汇曲线的所述子图像作为所述模板并称为曲线交汇模板。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述模板图像中提取基于曲线的图像类模板或曲线类模板作为模板包括：

在所述模板图像中选择候选曲线，判断所述候选曲线上是否存在非端点的唯一参考点，当判断为是时，根据包括唯一参考点的候选曲线获得所述模板。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，判断所述候选曲线上是否存在非端点的唯一参考点包括：

计算所述候选曲线上非端点的候选点的曲率以获得曲率最大点，将曲率最大点作为所述唯一参考点。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，当至少两个候选点的曲率均大于等于第一阈值且间隔小于等于第二阈值时，在所述候选点的两侧候选曲线上按相同的弧长间隔规则分别确定取样点，从最靠近候选点两侧的第一级取样点开始，逐级以两侧对应位置的所述取样点的平均曲率作为比较判据，逐级比较所述平均曲率，当所述候选点处的差别达到既定阈值时，选取所述平均曲率最大的候选点作为所述曲率最大点。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，判断所述候选曲线上是否存在非端点的唯一参考点包括：

在所述候选曲线上非端点的候选点两侧按相同的弧长间隔规则分别确定至少两个取样点，分别拟合一侧的所述取样点和另一侧的所述取样点以获得两个直线，获取两个直线的夹角，将具有最小夹角的候选点作为所述唯一参考点。