[发明专利]一种实验室制备单晶硅设备在审
申请号: | 202111410495.1 | 申请日: | 2021-11-25 |
公开(公告)号: | CN114214719A | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 高义红 | 申请(专利权)人: | 高义红 |
主分类号: | C30B1/10 | 分类号: | C30B1/10;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 646000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 实验室 制备 单晶硅 设备 | ||
1.一种实验室制备单晶硅设备,包括机壳(10),其特征在于:所述机壳(10)内设有粉末下落腔(12),所述粉末下落腔(12)上端壁内设有齿轮转动腔(23),所述齿轮转动腔(23)上端壁内设有碾压腔(22),所述粉末下落腔(12)下端壁内设有反应腔(43),所述反应腔(43)下端壁内设有可燃气体反应腔(51),所述可燃气体反应腔(51)左端壁内设有储油腔(34),所述储油腔(34)左端壁内设有废气吸收腔(33),所述废气吸收腔(33)上端壁内设有二氧化碳去处腔(29),所述二氧化碳去处腔(29)有端壁内设有稀盐酸存储腔(47),所述稀盐酸存储腔(47)下端壁内设有碳酸钙存放腔(55),所述反应腔(43)右端壁内设有硅棒生成腔(58),所述硅棒生成腔(58)下端壁内设有第二液压腔(62),所述硅棒生成腔(58)上端壁内设有第二齿轮转动腔(71),所述机壳(10)内设有研磨机构(81)、气体处理机构(82)、结晶机构(83),所述研磨机构(81)能够将二氧化硅和镁研磨成细粒,所述气体处理机构(82)能够将反应生成的易燃易爆气体收集利用,所述结晶机构(83)能够生产单晶硅棒;
所述气体处理机构(82)包括所述机壳(10)内设有的加热反应机构(84),所述二氧化碳去处腔(29)上端壁内设有可燃气体通气腔(28),所述可燃气体通气腔(28)一端设有可燃气体通气阀(44),所述二氧化碳去处腔(29)下端设有过滤通气腔(30),所述过滤通气腔(30)一端设有单向空气阀(32),所述单向空气阀(32),所述单向空气阀(32)通过导管与所述废气吸收腔(33)连通,所述稀盐酸存储腔(47)左端壁内设有二氧化碳压力腔(48),所述二氧化碳压力腔(48)与所述碳酸钙存放腔(55)连通,所述二氧化碳压力腔(48)内设有通气阀(42),所述稀盐酸存储腔(47)下端壁内设有另一个所述通气阀(42),所述碳酸钙存放腔(55)连通设有位于所述反应腔(43)内的所述通气阀(42),所述稀盐酸存储腔(47)下端壁内设有稀盐酸流通腔(46),所述稀盐酸流通腔(46)一端设有防腐喷淋头(45)。
2.据权利要求1所述的一种实验室制备单晶硅设备,其特征在于:所述加热反应机构(84)包括所述可燃气体反应腔(51)上端壁内设有通气铜管(50),所述通气铜管(50)固定连接有位于所述反应腔(43)内的点火头(49),所述可燃气体反应腔(51)上端壁内设有止通阀(31),所述反应腔(43)下端壁内设有一对左右对称的进出换气阀(37),所述反应腔(43)上端壁固定连接有固定杆(27)。
3.据权利要求2所述的一种实验室制备单晶硅设备,其特征在于:所述固定杆(27)固定连接有反应滤网(25),所述反应滤网(25)内设有反应物盛放腔(26),所述机壳(10)内设有石棉网固定腔(53),所述石棉网固定腔(53)左右端壁固定连接有石棉网固定扣(38),所述石棉网固定扣(38)固定连接有石棉网(39),所述石棉网(39)上端面设有普通坩埚(41)。
4.据权利要求1所述的一种实验室制备单晶硅设备,其特征在于:所述研磨机构(81)包括所述齿轮转动腔(23)内转动连接有第二齿轮(24),所述第二齿轮(24)内设有碾压腔(22),所述碾压腔(22)上端壁内设有第一液压腔(17),所述第一液压腔(17)内滑动连接有第一液压挡板(18),所述第一液压挡板(18)固定连接有第一液压顶杆(21),所述第一液压顶杆(21)固定连接有研磨圆盘(40),所述第一液压腔(17)右端壁内设有齿轮电机腔(15)。
5.据权利要求4所述的一种实验室制备单晶硅设备,其特征在于:所述齿轮电机腔(15)上端壁固定连接有齿轮电机(16),所述齿轮电机(16)动力连接有齿轮电机轴(14),所述齿轮电机轴(14)固定连接有第一齿轮(13),所述机壳(10)上端面固定连接有漏斗(20),所述漏斗(20)内设有下料腔(19)。
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