[发明专利]光纤导入装置及光纤导入方法

说明书

本发明涉及真空腔室技术领域，特别是涉及一种用于真空腔室的光纤导入装置及光纤导入方法。本发明的目的是提供一种在将光纤导入真空腔内时气密性更高的光纤导入装置及光纤导入方法。其中光纤导入装置包括挡片、灌胶座、真空灌封胶层、密封粘接胶层，所述挡片边缘开设有第一槽体，所述灌胶座内壁设置有第一环状凸台、第二环状凸台，所述第一环状凸台的靠近所述中心孔的边缘开设有第二槽体，所述挡片放置于所述第一环状凸台上，所述挡片与所述第一环状凸台相互连接，相互对应的所述第一槽体、所述第二槽体形成用于容纳一根所述光纤的裸线的固定槽，所述真空灌封胶层覆盖于所述挡片上，所述密封粘接胶层覆盖于所述真空灌封胶层上。

技术领域

本发明涉及真空腔室技术领域，特别是涉及一种用于真空腔室的光纤导入装置及光纤导入方法。

背景技术

目前，常见的EUV光刻机的极紫外光的传播要求工件台腔室具有极高的真空度，综合考虑释气、气密性等影响，部分光路需要在腔室内外通过光纤进行传输。腔内外的光纤实现导通的方法之一是采用一体式光纤，在通过真空腔壁时进行密封；现有的光纤导入装置，由于气密性不高，会导致工件台腔室泄露，影响使用。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种在将光纤导入真空腔内时气密性更高的光纤导入装置及光纤导入方法。

为了解决上述技术问题，本申请提供了如下技术方案：

本发明光纤导入装置，包括挡片、灌胶座、真空灌封胶层、密封粘接胶层，所述挡片为薄片状，所述挡片边缘开设有用于供光纤穿过的第一槽体，所述灌胶座为由侧壁围成的中空体，所述灌胶座的中心形成中心孔，所述灌胶座内壁设置有第一环状凸台、第二环状凸台，所述第一环状凸台的宽度大于所述第二环状凸台的宽度，所述第一环状凸台的靠近所述中心孔的边缘开设有第二槽体，所述第二槽体用于供光纤穿过，所述挡片放置于所述第一环状凸台上，所述挡片与所述第一环状凸台相互连接，所述第一槽体与所述第二槽体一一对应，相互对应的所述第一槽体、所述第二槽体形成用于容纳一根所述光纤的裸线的固定槽，所述真空灌封胶层覆盖于所述挡片上，所述密封粘接胶层覆盖于所述真空灌封胶层上。

本发明光纤导入装置，其中所述第一槽体、所述第二槽体均为半圆形。

本发明光纤导入装置，其中所述挡片上开设有至少两个平头螺钉沉头孔，所述第一环状凸台上开设有相应的连接孔，至少两个沉头螺钉分别穿过相应的所述平头螺钉沉头孔、所述连接孔将所述挡片及所述第一环状凸台相互连接。

本发明光纤导入装置，其中所述第一环状凸台的背离所述第二环状凸台的一侧开设有环状密封槽，所述环状密封槽内设置有密封圈。

本发明光纤导入装置，其中所述挡片与所述台阶槽之间留有间隙，所述第二环状凸台靠近所述中心孔的边缘设置有倒圆。

本发明光纤导入装置，其中所述灌胶座的与所述环状密封槽相对应的一侧面上设置有排气结构，所述排气结构为开设于所述灌胶座侧壁上的多个凹槽，各所述凹槽均与所述环状密封槽连通。

本发明光纤导入装置，其中还包括安装座，所述安装座用于将所述灌胶座连接于真空腔壁上，所述安装座与所述灌胶座相连接。

本发明采用上述光纤导入装置导入光纤的方法，包括：

光纤位于真空腔内的部分为第一段，光纤位于灌封位置的部分为第二段，去除各所述第一段外的塑料保护层，去除各所述第二段外的塑料保护层及金属层，各所述第二段的长度小于灌胶厚度，灌胶厚度为所述挡片放入所述灌胶座内后，所述挡片上表面到所述灌胶座顶面的距离，

将各所述光纤分别套入灌胶座上的一个第二槽体内，将挡片放置于第一环状凸台上，使第一槽体与所述第二槽体一一对应，相互对应的所述第一槽体、所述第二槽体形成固定槽，各所述光纤的所述第二段分别容纳于一个所述固定槽内，将所述挡片与所述灌胶座相连接；