[发明专利]一种用于光电探测器加工的装置有效
| 申请号: | 202111400351.8 | 申请日: | 2021-11-24 |
| 公开(公告)号: | CN113964242B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
| 发明(设计)人: | 李超翰;袁超;方成诚;叶瑾琳 | 申请(专利权)人: | 浙江光特科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人: | 张丽丽 |
| 地址: | 312000 浙江省绍兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 光电 探测器 加工 装置 | ||
本发明公开了一种用于光电探测器加工的装置,包括:一支撑板,水平布置;一转动部,与所述支撑板转动连接;多个夹持部,沿周向间隔安装在所述支撑板上,该夹持部包括:一滑杆,竖直安装在所述支撑板上;一滑套,与所述滑杆滑动连接;一弹性件,其一端与所述滑套连接,另一端与所述滑杆或支撑板连接;一夹具,安装在所述滑套上;一容器,其敞口布置,位于所述夹具在地面上投影形成的轨迹上;一推送部,用于带动所述夹具进入或脱离所述容器内。本发明能够连续不断的作业,自动化程度高,效率高。
技术领域
本发明涉及探测器生产技术领域,尤其涉及一种用于光电探测器加工的装置。
背景技术
近年来,为了满足人们对信息传递的要求,光通信网络逐步向高速、全光网方向发展。半导体光电探测器作为光通信网络中重要的接收器件,其性能影响整个光通信网络的运转。
光电探测器是指由光照入射引起被照射材料电导率发生改变的原理制成的传感器;在工业自动控制、光度计量、导弹制导、红外遥感等各个领域有广泛用途,具有重要的军用价值和广阔的民用市场。
光电探测器的加工步骤一般包括在液态介质中将纳米线材料附着在光电探测器上,取出,干燥,得到半导体纳米线光电探测器。
在中国专利申请号:201510289807.6中公开了一种半导体纳米线光电探测器的加工设备,包括液体容器、夹持滴加装置、搅拌装置、第一驱动装置和第二驱动装置;夹持滴加装置与第一驱动装置动力连接并由第一驱动装置驱动进入或离开液体容器,夹持滴加装置具有至少一个光电探测器夹持位和至少一个纳米线滴加端口;搅拌装置位于液体容器内并与第二驱动装置动力连接,且由第二驱动装置驱动使液体容器内液体转动。该技术方案加工效率低,有待进一步改进。
发明内容
为解决背景技术中存在的至少一个方面的技术问题,本发明提出一种用于光电探测器加工的装置,效率高。
本发明提出的一种用于光电探测器加工的装置,包括:
一支撑板,水平布置;
一转动部,与所述支撑板转动连接;
多个夹持部,沿周向间隔安装在所述支撑板上,该夹持部包括:
一滑杆,竖直安装在所述支撑板上;
一滑套,与所述滑杆滑动连接;
一弹性件,其一端与所述滑套连接,另一端与所述滑杆或支撑板连接
一夹具,安装在所述滑套上;
一容器,其敞口布置,位于所述夹具在地面上投影形成的轨迹上;
一推送部,用于带动所述夹具进入或脱离所述容器内。
优选的,所述推送部包括:
一推送板;
一第一气缸,其输出端与所述推送板连接;
一固定板,安装在所述滑套上,并位于所述推送板的移动路径上。
优选的,所述夹具包括:
一横杆,水平安装在所述滑套上;
一滑块,该滑块上设有滑动槽,所述滑块通过所述滑动槽与所述横杆滑动连接;
一夹持组件,安装在所述滑块上,用于夹持所述探测器;
该装置还包括一移送部,用于将所述滑块脱离所述横杆。
优选的,所述移送部包括:
一移送板;
一第二气缸,其输出端与所述移送板连接;其中,所述滑块的移动轨迹与所述移送板的移动轨迹相交。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





