[发明专利]一种连续多卷高效镀膜机及其镀膜工艺

说明书

本发明公开了一种连续多卷高效镀膜机及其镀膜工艺，包括真空蒸镀腔体，还包括设置在真空蒸镀腔体内的辊筒组件、蒸发源；所述辊筒组件包括滚筒、以及设置在滚筒上的过辊。本发明提供的连续多卷高效镀膜机，通过增设辊筒组件，可实现连续多卷同时镀膜，且可以实现双面镀膜，镀膜效率高，厚度均匀。

技术领域

本发明涉及镀膜机，尤其是涉及到一种连续多卷高效镀膜机及其镀膜工艺。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等。

而蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。现有进行薄膜蒸镀的镀膜机往往只能实现一卷镀膜，无法完成多卷镀膜，因而，要完成多卷镀膜时需要较多时间，也需要较大的场地进行多卷同时生产，浪费时间且提高了生产成本。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供一种连续多卷高效镀膜机及其镀膜工艺，通过增设辊筒组件，可实现连续多卷同时镀膜，且可以实现双面镀膜，镀膜效率高，厚度均匀。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种连续多卷高效镀膜机，包括真空蒸镀腔体，还包括设置在真空蒸镀腔体内的辊筒组件、蒸发源；

所述辊筒组件包括滚筒、以及设置在滚筒上的过辊。

进一步的，所述滚筒为可转动的滚筒，所述过辊垂直设置于滚筒的表面；

进一步的，所述蒸发源设置在真空蒸镀腔体的底部；

进一步的，所述蒸发源设有若干个，若干个蒸发源之间设有挡板；

进一步的，所述真空蒸镀腔体为长方体的真空蒸镀腔体；

进一步的，所述辊筒组件设置≥8个，在两个所述辊筒组件上完成薄膜的放卷和收卷。

进一步的，所述滚筒可以转动的范围为0-360°，一般通过转动滚筒，来调整该滚筒上的过棍和另一个滚筒上的过棍且这两个过辊同向平行，以方便进行下道工序。

进一步的，所述展开辊设置在蒸发源正上方，所述展开辊设置≥1个。

同样的，本发明也提供了一种使用连续多卷高效镀膜机进行镀膜的工艺，包括以下步骤：

S1、将装有薄膜的卷芯放置在辊筒组件上，然后将辊筒组件上的薄膜沿着收放辊的走膜方向铺设，打开传动装置，使得薄膜开始在展开过辊上走动，待薄膜在收放辊卷绕一圈后，停止走膜；

S2、密闭真空蒸镀腔体，调节腔体内的真空度到预设值；预设值：为5x10^-3-8x10^-3pa。

S3、对辊筒组件下方的蒸发源进行加热，蒸发源熔融，对薄膜的A面进行镀膜，待A面镀膜厚度达到要求，完成单面覆膜；

S4、开启旋转装置，使得第二滚筒上的收放辊旋转至下一辊筒组件的收放辊平行且方向相同，将辊筒组件上的薄膜沿着收放辊的走膜方向铺设，启动传动装置，使得薄膜开始在展开辊上走动，待薄膜在收放辊卷绕一圈后，停止走膜；对该辊筒组件下方的蒸发源进行加热，蒸发源熔融，对薄膜的B面进行镀膜，待B面镀膜厚度达到要求，完成双面覆膜；镀膜结束后，取出收卷好的卷芯即可。

进一步的，所述辊筒组件设置数量为8-16个，可同时对4-8卷薄膜进行单面镀膜，可同时对2-4卷薄膜进行双面镀膜。

本发明的有益效果是：

1、可同时完成多卷薄膜的镀膜。