[发明专利]一种适用于气体流量检测的高频超声波传感器

权利要求书

1.一种适用于气体流量检测的高频超声波传感器，其特征在于，包括导线、金属壳体、外壳、阻尼层、正极电线、负极电线、压电陶瓷片、匹配层；所述的匹配层粘贴于所述外壳内；所述金属壳体置于所述外壳内，一面与所述匹配层粘接，另一面与所述压电陶瓷片粘接；将压电陶瓷做矩阵化处理，所述导线通过所述正极电线与所述压电陶瓷片焊接连接，通过所述负极电线与所述金属壳体焊接连接；所述的阻尼层填充于外壳内部。

2.根据权利要求1所述的一种适用于气体流量检测的高频超声波传感器，其特征在于，所述阻尼层的厚度大于2个发射波长，用于抑制压电陶瓷片振动，并吸收多余的振动。

3.根据权利要求2所述的一种适用于气体流量检测的高频超声波传感器，其特征在于，所述阻尼层的密度范围是0.8-2.0g/cm³。

4.根据权利要求3所述的一种适用于气体流量检测的高频超声波传感器，其特征在于，所述阻尼层材料为聚酯材料，硅胶材料，环氧材料中的一种或几种。

5.根据权利要求1-4任一所述的一种适用于气体流量检测的高频超声波传感器，其特征在于，所述匹配层的密度范围是0.4-0.8g/cm³。

6.根据权利要求1-4任一所述的一种适用于气体流量检测的高频超声波传感器，其特征在于，所述压电陶瓷片的中心开槽，槽口为单向或矩阵形。

7.根据权利要求1-4任一所述的一种适用于气体流量检测的高频超声波传感器，其特征在于，所述金属壳体由钛合金，不锈钢，黄铜，铝中的一种或多种组合制成。

8.根据权利要求7所述的一种适用于气体流量检测的高频超声波传感器，其特征在于，所述金属壳体的厚度是超声波频率的1/4个波长的整数倍。

9.根据权利要求1-4任一所述的一种适用于气体流量检测的高频超声波传感器，其特征在于，所述外壳的侧壁由阻尼层到匹配层呈直径减小的台阶状，其中小端为前端装配面，大端为后端装配面。

10.根据权利要求9所述的一种适用于气体流量检测的高频超声波传感器，其特征在于，所述前端装配面和后端装配面为光滑面或螺纹形。