[发明专利]数据分析方法、装置、计算机设备及存储介质

权利要求书

1.一种数据分析方法，包括：

获取多组样本数据，其中，每组样本数据包括染色结果数据和多类制程参数数据，所述染色结果数据表征阳极染色产品的染色结果，所述制程参数数据表征所述阳极染色产品在阳极染色过程的制程工艺；

确定所述每组样本数据中每类所述制程参数数据对所述染色结果数据的贡献值；

对所述多组样本数据对应的所述每类制程参数数据的多个所述贡献值进行分析，以确定影响所述阳极染色产品的染色结果的至少一类关键制程参数；

所述方法还包括：

生成所述多组样本数据对应的决策树，所述决策树包括多个节点，每个节点对应一类制程参数以及所述制程参数的增益值；

遍历所述决策树，以确定所述决策树中所有具有相邻关系的节点组合；

计算每个节点组合包括的至少两类制程参数的增益值对应的增益和值，其中，所述至少两类制程参数包括至少一个所述关键制程参数；

对具有相同制程参数的节点组合的增益和值进行累加处理，得到多个总增益和值，每个总增益和值对应包括所述至少两类制程参数的参数组合，以确定共同影响所述阳极染色产品的染色结果的关键参数组合。

2.根据权利要求1所述的方法，所述确定每组样本数据中每类制程参数数据对所述染色结果数据的贡献值，包括：

基于Shapley值法，确定一组样本数据中每类制程参数数据对所述样本数据中的染色结果数据的贡献值。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述确定每组样本数据中每类制程参数数据对所述染色结果数据的贡献值的步骤中，包括：

基于第一算法模型和第二算法模型，确定每组样本数据中每类制程参数数据对所述染色结果数据的第一贡献值和第二贡献值；

所述对所述多组样本数据对应的所述每类制程参数数据的多个所述贡献值进行分析，以确定影响所述阳极染色产品的染色结果的至少一类关键制程参数，包括：对所述多组样本数据对应的所述每类制程参数数据对应的所述第一贡献值和所述第二贡献值进行融合处理，以确定影响所述阳极染色产品的染色结果的至少一类关键制程参数。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括：

根据所述多组样本数据中的所述染色结果数据和所述关键制程参数对应的关键制程参数数据，通过核密度非参估计算法，生成每类所述关键制程参数的良密度分布和不良密度分布，以确定所述每类关键制程参数数据的不同参数数值与所述染色产品的产品质量的关系。

5.根据权利要求4所述的方法，还包括：

基于至少一个所述关键制程参数的良密度分布和不良密度分布，确定所述关键制程参数对应的染色结果为良的数值范围及对应的染色结果为不良的数值范围；

基于所述染色结果为良的数值范围和所述染色结果为不良的数值范围，调整所述关键制程参数的参数数值，以根据所述调整后的参数数值对产品进行阳极染色加工。

6.根据权利要求1所述的方法，所述染色结果数据包括染色良率数据，

其中，

所述确定每组样本数据中每类制程参数数据对所述染色结果数据的贡献值的步骤，包括：

确定每组样本数据中每类制程参数数据对所述染色良率数据的贡献值；其中，

所述对所述多组样本数据对应的所述每类制程参数数据的多个所述贡献值进行分析，以确定影响所述阳极染色产品的染色结果的至少一类关键制程参数数据的步骤，包括：

对所述多组样本数据对应的所述每类制程参数数据的多个贡献值进行分析，以确定影响所述阳极染色产品的染色良率的至少一类关键制程参数。