[发明专利]用于脊形到肋形波导芯过渡的光耦合器

权利要求书

1.一种结构，包括：

第一波导芯；

多个第一节段，沿纵轴设置有第一间隔布置；

多个第二节段，在该多个第一节段和该第一波导芯间沿该纵轴设置有第二间隔布置，该多个第二节段具有第一厚度；以及

平板层，包括分别连接到该多个第二节段的多个第一段，该平板层具有小于该第一厚度的第二厚度。

2.根据权利要求1所述的结构，其中，该平板层的该多个第一段被锥形化而具有第一宽度尺寸，且该第一宽度尺寸随着与该第一波导芯的距离的减少而增加。

3.根据权利要求2所述的结构，其中，该多个第二节段被锥形化而具有第二宽度尺寸，且该第二宽度尺寸随着与该第一波导芯的距离的减少而减少。

4.根据权利要求3所述的结构，其中，该第一宽度尺寸大于该第二宽度尺寸。

5.根据权利要求1所述的结构，其中，该多个第二节段分为第一群组和第二群组，且还包括：

第一波导芯段，叠加在该第一群组中的该多个第二节段上。

6.根据权利要求5所述的结构，其中，该第二群组中的该多个第二节段与该第一波导芯段断开。

7.根据权利要求6所述的结构，其中，该多个第二节段的该第一群组和该第一波导芯段沿该纵轴设置于该多个第二节段的该第二群组与该第一波导芯间。

8.根据权利要求5所述的结构，其中，该第一波导芯段被锥形化而具有第一宽度尺寸，且该第一宽度尺寸随着与该第一波导芯的距离的减少而增加。

9.根据权利要求8所述的结构，还包括：

第二波导芯段，连接该第一波导芯段和该第一波导芯，该第二波导芯段被锥形化而具有第二宽度尺寸，且该第二宽度尺寸随着与该第一波导芯的距离的减少而减少。

10.根据权利要求1所述的结构，其中，该多个第一节段分为第一群组和第二群组，且还包括：

第一波导芯段，叠加在该第一群组中的该多个第一节段上。

11.根据权利要求10所述的结构，其中，该第二群组中的该多个第一节段与该第一波导芯段断开。

12.根据权利要求11所述的结构，还包括：

第二波导芯，

其中，该多个第一节段的该第一群组和该第一波导芯段沿该纵轴设置于该多个第一节段的该第二群组与该第二波导芯间。

13.根据权利要求12所述的结构，其中，该第一波导芯段被锥形化而具有第一宽度尺寸，且该第一宽度尺寸随着与该第二波导芯的距离的增加而减少。

14.根据权利要求13所述的结构，还包括：

第二波导芯段，连接该第一波导芯段和该第二波导芯，该第二波导芯段被锥形化而具有第二宽度尺寸，且该第二宽度尺寸随着与该第二波导芯的距离的增加而增加。

15.根据权利要求1所述的结构，其中，该平板层包括连接到该第一波导芯的第二段。

16.一种方法，包括：

形成第一波导芯；

形成沿纵轴设置有第一间隔布置的多个第一节段；

形成在该多个第一节段和该第一波导芯间沿该纵轴设置有第二间隔布置的多个第二节段，其中，该多个第二节段具有第一厚度；以及

形成平板层，该平板层包括分别连接到该多个第二节段的多个第一段，其中，该平板层具有小于该第一厚度的第二厚度。