[发明专利]一种激光光束整形装置及方法在审
| 申请号: | 202111391163.3 | 申请日: | 2021-11-23 |
| 公开(公告)号: | CN114185175A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
| 发明(设计)人: | 武耀霞;高宇;夏高飞;张少波;王华 | 申请(专利权)人: | 西安中科微星光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09 |
| 代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 魏毅宏 |
| 地址: | 710000 陕西省西安市高新区毕原*** | 国省代码: | 陕西;61 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 激光 光束 整形 装置 方法 | ||
本发明属于光场调控技术领域,公开了一种激光光束整形装置及方法,光束整形装置包括:包括激光器、扩束镜、空间光调制器、第一透镜、光阑、第二透镜、分光棱镜、第三透镜、CCD、第四透镜、计算机、样品面、混合全息图;所述计算机分别与所述空间光调制器和CCD相机连接,用于控制CCD采集、混合全息图计算、空间光调器控制工作;本发明根据光场采集的信息通过数据处理计算出光场评价指标因子,与预期的光场评价指标因子对比,计算和优化得到光栅衍射全息图。通过加载于调制器硬件来实现光束整形,相较于现有调制器整形技术,该方法提高了能量利用率及光束整形效果,运算速率也得到了一定提升。
【技术领域】
本发明涉及光场调控技术领域,具体来说,涉及一种的激光光束整形装置及方法。
【背景技术】
激光因其具有能量密度高、方向性好、相干性高、热影响区小等特性,广泛应用于精密加工、信息处理技术、生物医学、光学检测等领域。
然而,激光光束能量一般呈高斯分布,这种能量的分布特性使得激光的应用受到很大的限制。例如,在高功率固体激光器应用过程中,高斯分布的中心区域光束会导致激光晶体和光学元件的损伤,而平顶光束把强度分散匀化在整个光斑尺寸中,可以大大提高光学器件的损伤阈值;在激光加工过程中,这种能量的分布特性会使得材料在局部范围内产生热累积,从而影响加工效果的一致性;在全息存储应用领域中,这种能量的分布不均匀特性直接影响存储的质量,因此将激光整形为均匀光束成为迫切的需要。
【发明内容】
本发明的目的是提供一种激光光束整形装置,包括激光器、扩束镜、空间光调制器、第一透镜、光阑、第二透镜、分光棱镜、第三透镜、CCD、第四透镜、计算机、样品面、混合全息图;
第一透镜、光阑以及第二透镜组成滤波组件;
空间光调制器、滤波组件、分光棱镜、第三透镜以及CCD组成光束整形系统;
激光器产生的激光经过扩束镜直接入射到空间光调制器上,经调制出射的光束经过滤波组件后入射到分光棱镜内;经分束棱镜后激光分为两部分,第一部分经反射后通过第三透镜传递到CCD相机中;
另一部分经透射后通过第四透镜聚焦在样品面;
计算机分别与空间光调制器和CCD相机连接,用于控制CCD采集、混合全息图计算、空间光调器控制工作。
一种的激光光束整形方法,包含以下步骤:
S1、计算分区光栅衍射全息图;
S2、搭建激光光束整形装置,将光路系统中的空间光调制器用于加载分区光栅衍射全息图,经光束整形系统中空间光调制器衍射、透镜聚焦后产生目标场信息;
S3、采集及处理数据,将光束整形系统中的CCD用于采集目标场信息,并生成图像信息,并将图像信息数据通过相应公式计算出光场评价指标因子;
将光场评价指标因子与预期指标因子进行对比分析,若是优于预期则完成整形;若达不到预期,则将采集计算得到数据用来优化分区光栅衍射全息图,得到修正后的分区光栅衍射全息图;
S4、重新加载计算,将修正后的分区光栅衍射全息图重新加载于激光光束整形装置中,重复S2即可。
优选的,S1计算分区光栅衍射全息图包括掩模区域内和掩模区域外2个区域;
掩模区域内表征掩模图形和衍射光栅的混合信息,用于将掩模区域内的光斑信息水平平移到一定距离、面积区域为S范围内;
掩模区域外包含8个子区域;分别为左上区域、正上区域、右上区域、左区域、右区域、左下区域、正下区域和右下区域;
优选的,S3中,光场评价指标因子包含光斑均匀性σ、均方误差e、整形效率μ的计算表达式如下表征:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安中科微星光电科技有限公司,未经西安中科微星光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111391163.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。





