[发明专利]基于小波变换的mura缺陷检测方法和系统有效
申请号: | 202111387780.6 | 申请日: | 2021-11-22 |
公开(公告)号: | CN113822884B | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 左右祥;杨义禄;关玉萍;查世华;李波;曾磊 | 申请(专利权)人: | 中导光电设备股份有限公司 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00 |
代理公司: | 广州维智林专利代理事务所(普通合伙) 44448 | 代理人: | 赵晓慧 |
地址: | 526238 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 变换 mura 缺陷 检测 方法 系统 | ||
1.一种基于小波变换的mura缺陷检测方法,其特征在于,包括以下步骤:
将TDI相机采集到的TFT LCD原图像进行小波变换,得到被检图像的小波域图,包括:
将TDI相机采集到的图像进行小波变换,其中小波变换公式如下:
上式中f(x,y)代表一幅大小为M*N的图像矩阵,其中x=0,1,2,…,M-1和y=0,1,2,…,N-1,j0是一个任意的开始尺度,系数定义了f(x,y)在尺度j0处的近似,系数是对尺度j≥j0附加了水平,垂直和对角方向的细节,其中i=(H,V,D)中的H、V、D分别表示水平、垂直和对角方向,和为二维尺度和平移基函数,公式如下:
其中二维尺度和平移基函数是由如下两个一维函数的乘积获得:
ψD(x,y)=ψ(x)ψ(y)
其中两个一维函数的表达式如下:
将所述小波域图的最低尺度近似分量的所有值置为0并进行小波反变换,得到时域图像;
将所述原图像与反变换后的时域图像进行叠加再进行归一化得到处理后的图像,包括:
其中将所述原图像与反变换后的时域图像进行叠加为图像对应像素相加,并对结果图像进行归一化,公式如下:
其中r(x,y)为叠加后的图像在(x,y)处的灰度值,min(r)表示图像r的最小灰度值,max(r)表示图像r的最大灰度值,norm(x,y)为归一化后的图像;
对归一化处理后的图像分别在X方向和Y方向上求取一阶偏导数,并根据所述一阶偏导数计算出每个像素点的梯度方向;
对归一化处理后的图像利用拉普拉斯算子求取二阶偏导数,沿垂直于所述像素点的梯度方向的局部区域求取所述二阶偏导数的局部极大值,并根据局部极大值确定mura位置,包括:在沿着垂直于梯度方向的局部区域进行求取所述二阶偏导数的局部极大值,当极大值大于设定的阈值时,将该像素点记为mura的位置点,将所有mura位置点沿着与梯度方向相垂直的方向连起来即确定mura的最终位置。
2.根据权利要求1所述的一种基于小波变换的mura缺陷检测方法,其特征在于,将所述小波域图的最低尺度近似分量的所有值置为0,并进行小波反变换,得到时域图像,包括:
将最低阶的近似分量置为0,并进行小波反变换,公式如下:
其中,式中M,N为图像矩阵的宽高,为f(x,y)在尺度j0处的近似,系数是对尺度j≥j0附加了水平,垂直和对角方向的细节,和为二维尺度和平移基函数,H、V、D分别表示水平、垂直和对角方向,f'(x,y)表示小波反变换结果。
3.根据权利要求1所述的一种基于小波变换的mura缺陷检测方法,其特征在于,对归一化处理后的图像分别在X方向和Y方向上求取一阶偏导数,并根据所述一阶偏导数计算出每个像素点的梯度方向,包括:
其中X和Y方向的一阶偏导数公式分别如下:
其中每个像素点的梯度方向的计算公式如下:
其中arctan为反正切函数。
4.根据权利要求1所述的一种基于小波变换的mura缺陷检测方法,其特征在于,对归一化处理后的图像利用拉普拉斯算子求取二阶偏导数,包括:
其中拉普拉斯算子公式为:
其中:
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