[发明专利]电致变焦超透镜及其制备方法和调制方法

权利要求书

1.一种电致变焦超透镜，其特征在于，包括衬底及设置于所述衬底上的若干个同心环，每个所述同心环包括相变材料层及分别设置于所述相变材料层的两面的第一电极层和第二电极层，通过调节所述第一电极层和所述第二电极层的电压调节所述同心环的相移以调节所述电致变焦超透镜的焦距。

2.根据权利要求1所述的电致变焦超透镜，其特征在于，所述同心环之间的间距相等。

3.根据权利要求1所述的电致变焦超透镜，其特征在于，所述衬底的材料包括二氧化硅。

4.根据权利要求1所述的电致变焦超透镜，其特征在于，所述第一电极层和所述第二电极层的材料相同。

5.根据权利要求1所述的电致变焦超透镜，其特征在于，所述第一电极层和所述第二电极层的材料包括氧化铟锡。

6.一种电致变焦超透镜的制备方法，其特征在于，所述电致变焦超透镜包括衬底及设置于所述衬底上的若干个同心环，所述制备方法包括：

提供衬底；

在所述衬底上依次制备第一电极层、相变材料层及第二电极层；

在所述第二电极层的表面通过光刻和刻蚀制备若干个同心环；每个所述同心环包括相变材料层及分别设置于所述相变材料层的两面的第一电极层和第二电极层。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，通过化学气相沉积在所述衬底上依次制备第一电极层、相变材料层及第二电极层。

8.一种电致变焦超透镜的调制方法，其特征在于，所述电致变焦超透镜包括衬底及设置于所述衬底上的若干个同心环，每个所述同心环包括相变材料层及分别设置于所述相变材料层的两面的第一电极层和第二电极层，所述调制方法包括：

获取电致变焦超透镜待调节的焦距；

根据所述待调节的焦距及预设的第一对应关系确定所述同心环的相移；所述第一对应关系包括同心环的相移与焦距之间的计算公式；

根据所述相移及预设的第二对应关系确定所述第一电极层和所述第二电极层的电压。

9.根据权利要求8所述的调制方法，其特征在于，所述计算公式包括：

其中，表示坐标为(x,y)的同心环的相移，λ表示入射光的波长，f表示焦距。