[发明专利]六氟化硫回收净化装置

权利要求书

1.一种六氟化硫回收净化装置，其特征在于包括存储罐、至少一个精馏柱、至少一个制冷机组和至少两个分子筛塔，两个以上分子筛塔相互串联；沿气体流动方向，最左方的分子筛塔下部进气端连通有进气管，最右方的分子筛塔上部出气端与存储罐中部进气端通过脱水管连通，存储罐上部出气端连通有出六氟化硫气体管，每一个精馏柱的底部与存储罐顶部连通，制冷机组的冷却盘管固定在精馏柱上，精馏柱顶部连通有出轻组分尾气管，在进气管与脱水管之间连通有连接管，连接管右端左右两侧的脱水管上分别串接有阀门，在连接管上连通有抽真空管，在抽真空管与脱水管之间的连接管上设置有加热器，在抽真空管与加热器之间的连接管上连通有调压管，在进气管、脱水管、抽真空管、出六氟化硫气体管、调压管和出轻组分尾气管上分别串接有阀门。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫回收净化装置，其特征在于还包括风冷器，风冷器包括风机、A风冷盘管和B风冷盘管，A风冷盘管和B风冷盘管首尾串接于分子筛塔与连接管之间的脱水管中，风机的出气端朝向A风冷盘管和B风冷盘管，A风冷盘管和B风冷盘管之间的连接处与进气管通过进气支管连通，在进气支管上串接有控制阀，在进气支管与B风冷盘管之间的连接处串接有风冷阀，在B风冷盘管出口端与连接管左侧阀门之间的脱水管上固定连通有增压机，增压机进气端的脱水管上串接有阀门。

3.根据权利要求2所述的六氟化硫回收净化装置，其特征在于靠近进气管进气端的进气管与进气支管和分子筛塔之间的进气管之间连通有稳压管，在稳压管上设置有稳压机，在稳压机两端的稳压管上串接有稳压阀。

4.根据权利要求2或3所述的六氟化硫回收净化装置，其特征在于脱水管与出六氟化硫气体管之间连通有脱水冷却支管，在脱水冷却支管设置有冷热交换器，冷热交换器的一次侧与脱水冷却支管连通，冷热交换器的二次侧与制冷机组的冷却盘管连通，冷热交换器的一次侧出口、二次侧进口分别串接有阀门。

5.根据权利要求2或3所述的六氟化硫回收净化装置，其特征在于出轻组分尾气管上设置有尾气处理器，在存储罐上设置有防护阀，在防护阀上设置有安全阀；在加热器右侧的连接管上依序串接有输入阀和电磁阀，在输入阀与电磁阀之间的连接管与出六氟化硫气体管之间连通有调整阀。

6.根据权利要求4所述的六氟化硫回收净化装置，其特征在于出轻组分尾气管上设置有尾气处理器，在存储罐上设置有防护阀，在防护阀上设置有安全阀；在加热器右侧的连接管上依序串接有输入阀和电磁阀，在输入阀与电磁阀之间的连接管与出六氟化硫气体管之间连通有调整阀。

7.根据权利要求2或3或6所述的六氟化硫回收净化装置，其特征在于还包括电器控制装置，电器控制装置包括电器柜、触摸屏和仪表接口面板，电器柜中设置有控制器，所述开关阀均采用电磁阀，在抽真空管上固定安装有真空泵，控制器分别与触摸屏、仪表接口面板、制冷机组、风冷器、加热器、真空泵的控制端以及电磁阀、控制阀电连接。

8.根据权利要求5所述的六氟化硫回收净化装置，其特征在于还包括电器控制装置，电器控制装置包括电器柜、触摸屏和仪表接口面板，电器柜中设置有控制器，所述开关阀均采用电磁阀，在抽真空管上固定安装有真空泵，控制器分别与触摸屏、仪表接口面板、制冷机组、风冷器、加热器、真空泵的控制端以及电磁阀、控制阀电连接。

9.根据权利要求3所述的六氟化硫回收净化装置，其特征在于还包括电器控制装置，电器控制装置包括电器柜、触摸屏和仪表接口面板，电器柜中设置有控制器，所述开关阀均采用电磁阀，在抽真空管上固定安装有真空泵，控制器分别与触摸屏、仪表接口面板、制冷机组、风冷器、加热器、真空泵的控制端以及电磁阀、控制阀电连接。

10.根据权利要求9所述的六氟化硫回收净化装置，其特征在于还包括支撑架，所述存储罐、制冷机组、分子筛塔、增压机、稳压机、电器柜、触摸屏和仪表接口面板均固定在支撑架上。