[发明专利]一种转镜式光源时分复用的直写曝光系统

权利要求书

1.一种转镜式光源时分复用的直写曝光系统，其特征在于，包括依次设置的：

光源，用于按照第一时序指令输出第一光线；

照明模块，用于对所述光源输出的第一光线进行预处理以满足曝光要求；

转镜式时分复用模块，用于根据第二时序指令控制预处理后的第一光线交替切换输出N路第二光线，N路所述第二光线的方向不同，且N≥2；

N对数字微镜阵列和投影模块，与N路所述第二光线一一对应，用于按照曝光指令将所述第二光线转换成投影光，并作用于待曝光面；

控制模块，分别与所述光源、转镜式时分复用模块、数字微镜阵列电性连接，以用于输出所述第一时序指令、第二时序指令、曝光指令。

2.根据权利要求1所述的一种转镜式光源时分复用的直写曝光系统，其特征在于：所述光源采用激光器或LED光源。

3.根据权利要求1或2所述的一种转镜式光源时分复用的直写曝光系统，其特征在于：所述照明模块包括依次设置的光棒、照明透镜，所述光棒通过光纤连接所述光源的输出端。

4.根据权利要求1所述的一种转镜式光源时分复用的直写曝光系统，其特征在于：所述转镜式时分复用模块包括转镜、电机、驱动器，所述转镜按圆周等分有n个扇形区，所述n个扇形区交替分布有n/2个反射镜和n/2个透射镜，所述电机的输出轴与所述转镜固定连接以带动转镜旋转，所述驱动器分别与控制模块、所述电机连接以接收第二时序指令并控制所述电机工作。

5.根据权利要求1所述的一种转镜式光源时分复用的直写曝光系统，其特征在于：所述数字微镜阵列包括反射镜和空间光调制器，所述反射镜用于接收所述第二光线并反射到所述空间光调制器，所述空间光调制器用于按照曝光指令将所述第二光线转化成图形调制光斑。

6.根据权利要求5所述的一种转镜式光源时分复用的直写曝光系统，其特征在于：所述投影模块采用宽光谱成像系统，用于将图形调制光斑转换成投影光并作用于待曝光面。