[发明专利]用于介观尺度拉伸试样力学性能测试的磁控溅射成形装置

权利要求书

1.用于介观尺度拉伸试样力学性能测试的磁控溅射成形装置，其特征在于，其设有底板（1）、金属镀膜成形板（2）和压板（3）；所述底板（1）分别开设有相连通的凹坑（14）和凹槽（15），所述凹坑（14）用于放置拉伸试样（4）；所述凹槽（15）设置在所述凹坑（14）的上层，用于安放所述金属镀膜成形板（2），所述金属镀膜成形板（2）开设有呈阵列分布的第一通孔（21），所述第一通孔（21）为圆形孔，所述第一通孔（21）的孔径为微米级；在所述底板（1）上可拆卸的安装设有所述压板（3），所述压板（3）开设有第二通孔（31），所述第二通孔（31）的大小大于所述第一通孔（21）的孔径；所述压板（3）的板身压在所述金属镀膜成形板（2）上，所述金属镀膜成形板（2）压在放置在凹坑（14）内的所述拉伸试样（4）上，紧贴在所述拉伸试样（4）的中间测试部（41）上的所述第一通孔（21）呈阵列分布，所述第一通孔（21）与所述第二通孔（31）相连通。

2.根据权利要求1所述的用于介观尺度拉伸试样力学性能测试的磁控溅射成形装置，其特征在于，其还设有试样定位框（5），所述试样定位框（5）开设有放置孔（51），所述放置孔（51）与所述拉伸试样（4）的形状、大小相匹配；所述试样定位框（5）安装在所述凹坑（14）内。

3.根据权利要求2所述的用于介观尺度拉伸试样力学性能测试的磁控溅射成形装置，其特征在于，所述压板（3）和所述金属镀膜成形板（2）之间还连接设有橡胶层（6），在所述橡胶层（6）弹性力的作用下，所述金属镀膜成形板（2）紧密贴合在所述拉伸试样（4）上；所述橡胶层（6）开设有第三通孔（61），所述第三通孔（61）的大小大于所述第一通孔（21）的孔径；所述第二通孔（31）、所述第三通孔（61）、所述第一通孔（21）从上到下相连通设置。

4.根据权利要求3所述的用于介观尺度拉伸试样力学性能测试的磁控溅射成形装置，其特征在于，所述第二通孔（31）、所述第三通孔（61）、所述放置孔（51）均为圆形孔，且三者同轴设置；所述放置孔（51）的孔径分别大于所述第二通孔（31）和所述第三通孔（61）的孔径，所述第二通孔（31）、所述第三通孔（61）的孔径大小相等。

5.根据权利要求1所述的用于介观尺度拉伸试样力学性能测试的磁控溅射成形装置，其特征在于，所述第一通孔（21）在所述金属镀膜成形板（2）呈矩形阵列分布，所述第一通孔（21）的孔径为100 μm，在所述矩形阵列中，位于行或列的方向上相邻两个所述第一通孔（21）的圆心间距为150 μm。

6.根据权利要求1所述的用于介观尺度拉伸试样力学性能测试的磁控溅射成形装置，其特征在于，所述金属镀膜成形板（2）的厚度不大于0.1 mm，且所述第一通孔（21）的孔壁上沿向外倒有第一斜角（211），所述第一斜角（211）的角度为45°。

7.根据权利要求1所述的用于介观尺度拉伸试样力学性能测试的磁控溅射成形装置，其特征在于，所述第二通孔（31）的上沿倒有第一圆角（311）。

8.根据权利要求1所述的用于介观尺度拉伸试样力学性能测试的磁控溅射成形装置，其特征在于，所述底板（1）外沿部分的各边倒有第二圆角（11）。

9.根据权利要求1所述的用于介观尺度拉伸试样力学性能测试的磁控溅射成形装置，其特征在于，所述底板（1）上连接设有把手（12）。

10.根据权利要求1所述的用于介观尺度拉伸试样力学性能测试的磁控溅射成形装置，其特征在于，所述压板（3）通过螺栓（7）可拆卸的安装在所述底板（1）上。