[发明专利]一种耐腐蚀的等离子体化学反应装置

权利要求书

1.一种耐腐蚀的等离子体化学反应装置，其特征在于，所述装置，包括：微波系统和等离子体化学反应腔体；

所述等离子体化学反应腔体为密封空腔结构，内部有反应腔室；所述反应腔室内放置有反应物料和反应气体；

所述等离子体化学反应腔体插入所述微波系统的波导中；

所述微波系统，用于产生微波以激发所述反应腔室中的反应气体生成等离子体；

所述反应物料在所述反应腔室内与所述等离子体进行化学反应；

所述装置，还包括：腔室支架和滑轨；

所述腔室支架设置在所述滑轨上，并可在所述滑轨上滑动；

所述腔室支架，用于支撑所述等离子体化学反应腔体。

2.根据权利要求1所述的耐腐蚀的等离子体化学反应装置，其特征在于，所述等离子体化学反应腔体，具体包括：物料托盘和朗缪尔探针；

所述物料托盘和所述朗缪尔探针均设置在所述反应腔室内部；

所述朗缪尔探针，用于提供种子电子，协助激发所述反应气体；

所述物料托盘，用于盛放所述反应物料。

3.根据权利要求2所述的耐腐蚀的等离子体化学反应装置，其特征在于，所述等离子体化学反应腔体上设置有与所述反应腔室贯通的朗缪尔探针入口；所述朗缪尔探针，包括：圆柱形针体、绝缘套管和密封法兰；

所述绝缘套管套设在所述圆柱形针体外部，所述圆柱形针体的前端探出所述绝缘套；

所述密封法兰，用于密封所述朗缪尔探针入口；所述密封法兰上设置有电极，用于为所述圆柱形针体供电。

4.根据权利要求3所述的耐腐蚀的等离子体化学反应装置，其特征在于，

所述物料托盘上设置有连接杆，用于将所述物料托盘经所述朗缪尔探针入口送入所述反应腔室内部；

所述连接杆上设置有带凹槽的支撑柱，用于支撑所述绝缘套管。

5.根据权利要求4所述的耐腐蚀的等离子体化学反应装置，其特征在于，

所述绝缘套管位于所述反应腔室的中心轴线上。

6.根据权利要求1所述的耐腐蚀的等离子体化学反应装置，其特征在于，所述等离子体化学反应腔体上设置有与所述反应腔室贯通的两个气路接口，分别用于向所述反应腔室内输入所述反应气体以及将所述反应气体导出所述反应腔室。

7.根据权利要求6所述的耐腐蚀的等离子体化学反应装置，其特征在于，

至少两个气路接口分别经变径组件与所述反应气体的输入端和输出端连接。

8.根据权利要求1所述的耐腐蚀的等离子体化学反应装置，其特征在于，所述装置，还包括：微波支架；

所述微波支架，用于支撑所述微波系统；

所述微波支架的高度与所述腔室支架的高度匹配，以使所述等离子体化学反应腔体插入所述微波系统的波导中。

9.根据权利要求1-7任一项所述的耐腐蚀的等离子体化学反应装置，其特征在于，

所述微波系统，用于产生2.45GHz微波。