[发明专利]一种免研磨的陶瓷覆铜板双面同时烧结方法有效
| 申请号: | 202111339080.X | 申请日: | 2021-11-12 |
| 公开(公告)号: | CN114014682B | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
| 发明(设计)人: | 李炎;贺贤汉;朱锐;董明锋;蔡俊;陆玉龙 | 申请(专利权)人: | 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号: | C04B37/02 | 分类号: | C04B37/02;C04B41/87;C04B35/582;C04B35/117;C04B35/622 |
| 代理公司: | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人: | 张强 |
| 地址: | 224200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 研磨 陶瓷 铜板 双面 同时 烧结 方法 | ||
1.一种免研磨的陶瓷覆铜板双面同时烧结方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1.制备治具坯体,其中治具坯体采用碳化硅材料加工而成;
S2.使用水刀将治具内部加工形成若干个中空框架,中空框架为矩形,将框架骨架加工成上细下宽,其中上侧宽度为2.5-2.8mm,下侧宽度为3.0-3.2mm,使其骨架纵截面为梯形,并在治具表面涂覆有陶瓷涂层;
S21.按重量份数计,向30-40份有机溶液内加入50-80份陶瓷粉末,之后加入0.5-3份烧结助剂、0.5-2份增稠剂与0.1-0.5份分散剂,一同置于反应釜内,超声搅拌混合处理,得到陶瓷悬浮料浆;
其中,所述陶瓷粉末为氮化铝、氧化铝陶瓷粉末中的任一种,且其粒径小于80μm;所述有机溶液为丙酮、乙酸乙酯中的一种或两种;所述增稠剂为甲基纤维素、羧甲基纤维素、羟乙基纤维素中的一种或多种;所述分散剂为硬脂酸,所述烧结助剂为CuO-TiO2或MnO2-TiO2-MgO烧结助剂中的一种或多种;
S22.将所述陶瓷悬浮料浆喷涂在治具坯体表面,之后进行烧结,得到治具;
其中烧结方式为:将喷涂了陶瓷粉末的治具坯体置于窑内,升温至300-350℃,保温30-45分钟,之后以每分钟升温50℃的速率升温至1500-1650℃,保温1-2小时后,炉冷至800-1000℃,保温30分钟;保温结束后炉冷至室温即可得成品治具;
S3.按照治具-铜片-陶瓷-铜片的顺序,自上而下堆叠排列,双面同时烧结,得到覆铜基板;
S4.取覆铜基板,下表面进行蚀刻,将覆铜板与治具接触面烧结后形成的印记去除,即可得成品。
2.根据权利要求1所述的一种免研磨的陶瓷覆铜板双面同时烧结方法,其特征在于:步骤S3中,所述烧结步骤为:将堆叠有铜片、陶瓷的治具置于传送带上,之后沿传送带方向入炉烧结,炉内烧结温度为1000-1080℃,烧结时间5-100min,氮气氛围保护。
3.根据权利要求1所述的一种免研磨的陶瓷覆铜板双面同时烧结方法,其特征在于:步骤S21中所述超声搅拌频率为20-30KHz,持续时间为15-30分钟。
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