[发明专利]基于光纤点衍射干涉实验光线追迹的像差测量技术与装置在审

专利信息
申请号: 202111327287.5 申请日: 2021-11-10
公开(公告)号: CN114018551A 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 陈凌峰;陈伟雄;张旭升 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 基于 光纤 衍射 干涉 实验 光线 测量 技术 装置
【权利要求书】:

1.基于光纤点衍射干涉实验光线追迹的像差测量技术与装置,包括激光器,一分二光纤分束器,光纤(a、b),薄膜分光镜(BS1、BS2),单轴位移台,旋转台,无镜头CCD相机,压电陶瓷移相器,数字千分表,待测透镜,其特征在于,包括以下步骤:

第一步:搭建光路:激光器经过光纤耦合,分束后形成的两个光纤点光源,光纤点光源Pa、Pb和薄膜分光镜BS1整体固定于单轴位移台,通过待测透镜、薄膜分光镜BS2在两个CCD像面上发生干涉,移动位移台可以使Pa、Pb构成的虚拟光线到达被测透镜在该平面内的任一位置,待测透镜固定于旋转位移台,旋转被测透镜模拟轴外斜光线入射,点光源Pb所在的光纤缠绕在压电陶瓷移相器上,当移相器径向膨胀时拉伸光纤引入相移,采集两个CCD上的移相干涉图送入计算机进行处理;

第二步:模拟子午面内平行于光轴的入射光线,方法如下:若两个光纤点光源模拟的光线穿过被测透镜中心,就模拟了轴上入射光线,若两个光纤点光源和薄膜分光镜同时沿垂直光轴的方向移动,就模拟了不同孔径高的入射光线;

第三步:模拟子午和弧矢面内的斜入射光线,方法如下:两个光纤点光源分别为Pa、Pb,在待测透镜的子午面内,若Pa保持不动,Pb沿垂直光轴方向移动到Pb1,就可以模拟子午面内的轴外斜入射光线;若Pa1、Pb1和薄膜分光镜BS1整体沿垂直光轴方向移动,就可模拟子午面内通过透镜不同孔径的斜入射光线;Pa1、Pb1和薄膜分光镜BS1整体沿垂直于子午方向移动,就可模拟弧矢面内通过透镜不同孔径的斜入射光线。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,按照几何像差的定义,利用此方法对透镜的球差、彗差、场曲和像散进行了测量。

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