[发明专利]纯水系统密封气体制备装置

权利要求书

1.一种纯水系统密封气体制备装置，其特征是：无油空压机入口门(3)和厂用气源入口门(4)以并联的方式连接至主管路上，主管路依次连接高压截止阀(5)、一级减压阀(6)、二级减压阀(7)和低压截止阀(8)，管路连接到油水分离器(9)，在油水分离器(9)的下部连接排污门(11)，油水分离器(9)的另一端连接C级主管路过滤器(10)；C级主管路过滤器(10)通过管路与复合过滤组件(12)进行连接，C级主管路过滤器(10)与复合过滤组件(12)的连接管路上装有压力表PI和压力开关PS，在经过复合过滤组件(12)之后的管路上装有压力表PI、压力开关PS、气体流量表FL和气体监测表A，管路分为两路分别依次连接装置出口电动阀(19)、气体出口门(20)和气体排放电动阀(21)和气体排放手动门(22)；纯水系统密封气体制备装置管路上安装的压力表PI、压力开关PS、气体流量表FL和气体监测表A都会将在线检测信号上传至控制柜(23)中的控制器中。

2.根据权利要求1所述的一种纯水系统密封气体制备装置，其特征是：复合过滤组件(12)是由A侧入口电动阀(13)、A侧复合滤料过滤器(15)、A侧出口电动阀(17)和B侧入口电动阀(14)、B侧复合滤料过滤器(16)、B侧出口电动阀(18)组成。A侧入口电动阀(13)、A侧复合滤料过滤器(15)、A侧出口电动阀(17)依次通过管路进行连接；B侧入口电动阀(14)、B侧复合滤料过滤器(16)、B侧出口电动阀(18)依次通过管路进行连接；A侧部件与B侧部件以并联方式通过管路进行连接构成复合过滤组件(12)。

3.根据权利要求1所述的一种纯水系统密封气体制备装置，其特征是：由控制柜(23)进行自动控制，在纯净气源制备装置入口管路上装有压力表PI和压力开关PS，压力表PI和压力开关PS将气源状况上传至由控制柜(23)中的控制器中；复合过滤组件(12)出口管路装有压力表PI、压力开关PS、气体流量表FL和气体监测表A，压力表PI、压力开关PS、气体流量表FL和气体监测表A将监测数据上传至由控制柜(23)中的控制器中；控制柜(23)中的控制器根据气体监测表A的在线监测信号，可分别控制A侧入口电动阀(13)、A侧出口电动阀(16)和B侧入口电动阀(14)、B侧入口电动阀(18)来进行切换操作，同时也可以根据出口管路上的压力表PI、压力开关PS、气体流量表FL和气体监测表A的监测数据对装置进行自动停机进行运行保护。