[发明专利]一种加热器的形变补偿方法及加热器形变补偿结构

说明书

本发明提供一种加热器的形变补偿方法，其可以克服加热器、被加热对象加热形变导致加热不均的问题，提高加热效率。方法包括：在加热器的加热结构上设置一层形变补偿结构；所述形变补偿结构包括高耐热性的易变形的材料；所述形变补偿结构覆盖于所述加热结构的加热区域，尺寸与所述所述加热结构的加热区域尺寸相适应；被加热对象放置在所述形变补偿结构之上，进行加热工序的操作。同时，本发明也公开了一种加热器形变补偿结构。

技术领域

本发明涉及加热设备技术领域，具体为一种加热器的形变补偿方法及加热器形变补偿结构。

背景技术

加热器，如平板加热器、立体加热器，是在半导体、显示器、光伏、建材等领域常用的加工设备。如图1所示，被加热对象放置在加热器的加热用载具上方，通过热传导进行加热。然而，因为材质的关系，很多被加热对象、或者加热结构，尤其是金属器件都会无可避免地在加热过程中产生形变，如图1所示，随着加热操作的进行，被加热对象1包括被加热的元器件和放置元器件的载具，其中载具因为温度会发生变形，变形后的被加热对象1和加热结构2之间的接触面逐渐无法吻合，产生越来越大的空隙，不但导致被被加热的元器件的加热不均，同时也会导致整体的加热效率下降。

发明内容

为了解决加热器、被加热对象在加热工序中产生形变导致加热不均和效率下降的问题，本发明提供一一种加热器的形变补偿方法，其可以克服加热器、被加热对象加热形变导致加热不均的问题，提高加热效率。同时，本发明也公开了一种加热器形变补偿结构。

本发明的技术方案是这样的：一种加热器的形变补偿方法，其包括：

在加热器的加热结构上设置一层形变补偿结构；

所述形变补偿结构包括高耐热性的易变形的材料；

所述形变补偿结构覆盖于所述加热结构的加热区域，尺寸与所述所述加热结构的加热区域尺寸相适应；

被加热对象放置在所述形变补偿结构之上，进行加热工序的操作。

其进一步特征在于：

所述形变补偿结构还包括高传热效率和高耐热性的材料；

所述形变补偿结构还包括高耐热、易变形的结构。

一种加热器形变补偿结构，其包括：柔性补偿层、滑动体，所述柔性补偿层为高耐热性的导热柔性材料；所述柔性补偿层的尺寸、形状与加热器的加热结构的加热区域相适应；

所述柔性补偿层将所述滑动体拘束在一起，或者所述柔性补偿层构成密闭结构，所述滑动体放置于所述柔性补偿层的密闭空间内；所述滑动体的数量至少能够平铺后完整覆盖所述加热结构；

所述柔性补偿层、所述滑动体设置于加热区域之上。

其进一步特征在于：

所述滑动体为低摩擦系数、高传热效率、高耐热性材料；

所述柔性补偿层的柔性材料包括：金属网，高分子材料、耐热硅胶膜；

所述柔性补偿层的结构包括：袋状结构、网状结构；

所述滑动体包括：粒状体、丝状体；所述滑动体为粒状时，包括：球体、椭圆体、不规则体；所述滑动体为粒状时，所述滑动体的直径或者高度为2mm~8mm；

所述滑动体的材质包括：石墨、碳、铝、铝合金、不锈钢。

本发明提供的一种加热器的形变补偿方法，在加热器的加热结构上设置一层形变补偿结构，通过自身形变填充所述被加热对象和加热器的加热结构之间的空隙，可以同时紧密贴合加热器与被加热对象的相对表面，实现加热器对被加热对象的间接的全接触热传导，不但能确保被加热对象能够均匀加热，同时大幅度提升传热效率与速率。通过柔性补偿层的柔性材料实现对微小形变的变形补偿，通过柔性补偿层和滑动体的共同作用，进一步实现对各种程度形变的适应性变形补偿，对各种材质、尺寸的加热器和被加热对象都能实现提升加热效率和确保实现加热均匀。

附图说明

图1为现有技术中被加热对象和加热结构的结构关系示意图；