[发明专利]一种宽带任意波形光学发生器芯片

权利要求书

1.一种宽带任意波形光学发生器芯片，其特征在于，包括：第一光栅耦合器(2)、偏振复用高速电光调制器(3)、片上偏振分束器(6)、窄带光滤波器(7)、第二光栅耦合器(8)、第三光栅耦合器(11)、第一片上高速光电探测器(12)、第二片上高速光电探测器(13)；其中，

片外的激光器(1)产生连续光信号通过第一光栅耦合器(2)入射到芯片中，随后注入到所述偏振复用高速电光调制器(3)中，片外的多通道直流电源(4)为偏振复用高速电光调制器(3)提供直流偏置电压，片外的低速码元发生器(5)产生基带码元调制信号给偏振复用高速电光调制器(3)；

所述偏振复用高速电光调制器(3)将产生的调制信号经过片上偏振分束器(6)后分成两路，一路入射到所述窄带光滤波器(7)中，用于相位调制到强度调制的转换，滤波后的光信号经过第二光栅耦合器(8)后通过片外延迟光纤(9)传输到片外光放大器(10)放大，随后通过第三光栅耦合器(11)重新入射到芯片中，然后由第一片上高速光电探测器(12)进行光电转换，产生的电信号再次注入到所述偏振复用高速电光调制器(3)中，形成光电振荡器环路；通过调节所述窄带光滤波器(7)的中心频率，构成傅里叶域锁模，产生宽带微波信号，该宽带微波信号同时注入到偏振复用高速电光调制器(3)中调制，调制后的信号经过所述片上偏振分束器(6)后，由第二片上高速光电探测器(13)进行光电转换，然后入射到高速示波器(14)中，实现单频微波信号、宽带线性调频信号、多波段线性调频信号、微波矢量信号多种波形的生成。

2.如权利要求1所述的一种宽带任意波形光学发生器芯片，其特征在于，所述的偏振复用高速电光调制器(3)包含1个上双平行马赫-曾德尔调制器、1个下双平行马赫-曾德尔调制器1个90°偏振旋转器和1个偏振合束器；所述下双平行马赫-曾德尔调制器连接所述90°偏振旋转器后与上双平行马赫-曾德尔调制器通过所述偏振合束器连接在一起。

3.如权利要求2所述的一种宽带任意波形光学发生器芯片，其特征在于，所述上、下双平行-马赫曾德尔调制器均包含两个微波输入端口和三个直流偏置端口；通过调节输入到上、下平行马赫-曾德尔调制器中两路射频信号的相位差以三个直流偏置电压，双平行马赫-曾德尔调制器实现等效相位调制、单边带调制、抑制载波的双边的调制、抑制载波的±2阶边带调制。

4.如权利要求1或2或3所述的一种宽带任意波形光学发生器芯片，其特征在于，所述窄带光滤波器(7)采用跑道型微环谐振腔结构。

5.如权利要求4所述的一种宽带任意波形光学发生器芯片，其特征在于，所述微环谐振腔结构中跑道部分采用多模波导结构。

6.如权利要求5所述的一种宽带任意波形光学发生器芯片，其特征在于，所述多模波导采用脊型波导结构，波导宽度为2um。

7.如权利要求5或6所述的一种宽带任意波形光学发生器芯片，其特征在于，在所述多模波导上方沉淀一层金属微纳加热电极。