[发明专利]探针卡装置及其测试设备

权利要求书

1.一种探针卡装置，包括：

一印刷电路板，包括：

多个第一连接体，设置在该印刷电路板的一第一表面上并耦接到一测试器；以及

多个第二连接体，设置在该印刷电路板的一第二表面上；

一空间转换器，包括：

多个连接体，设置在该空间转换器的一第一表面上并耦接到该印刷电路板的该多个第二连接体；

多个一般接触垫，设置在该空间转换器的一第二表面上并与多个第一第一探针接触；以及

多个高速接触垫，设置在该空间转换器该第二表面上并与多个第二探针接触；以及

一高速可挠性印刷电路，具有一第一连接端子以及一第二连接端子，该第一连接端子耦接到该测试器，该第二连接端子耦接到该多个高速接触垫。

2.如权利要求1所述的探针卡装置，其中该空间转换器的其中两个连接体之间的一间距大于其中两个一般接触垫之间的一间距以及其中两个高速接触垫之间的一间距。

3.如权利要求2所述的探针卡装置，其中：

该空间转换器的其中两个连接体之间的该间距大于或等于250μm；以及

其中两个一般接触垫之间的该间距以及其中两个高速接触垫之间的该间距小于或等于50μm。

4.如权利要求1所述的探针卡装置，其中该高速可挠性印刷电路的该第一连接端子连接到一高速连接器以耦接到该测试器。

5.如权利要求1所述的探针卡装置，其中：

该多个一般接触垫设置在该空间转换器的该第二表面的一内区域中；以及

该多个高速接触垫设置在该空间转换器的该第二表面的该内区域外侧的一外围区域中。

6.如权利要求1所述的探针卡装置，其中该第一连接端子的一间距大于该第二连接端子的一间距。

7.如权利要求1所述的探针卡装置，其中：

该高速可挠性印刷电路的该第一连接端子设置在该印刷电路板的该第一表面上或旁边；以及

该高速可挠性印刷电路的该第二连接端子设置在该空间转换器的该第二表面上。

8.如权利要求1所述的探针卡装置，其中该高速可挠性印刷电路经配置以传送频率大于10GHz的多个信号。

9.如权利要求1所述的探针卡装置，其中该多个第二连接体形成一球状栅格阵列。

10.如权利要求1所述的探针卡装置，其中该多个一般接触垫与该多个高速接触垫为可控制塌陷芯片连接接触垫。

11.一种测试设备，包括：

一探针卡装置，包括：

一印刷电路板，包括：

多个第一连接体，设置在该印刷电路板的一第一表面上；以及

多个第二连接体，设置在该印刷电路板的一第二表面上；

一空间转换器，包括：

多个连接体，设置在该空间转换器的一第一表面上并耦接到该印刷电路板的该多个第二连接体；

多个一般接触垫，设置在该空间转换器的一第二表面上；以及

多个高速接触垫，设置在该空间转换器的该第二表面上；以及

一高速可挠性印刷电路，具有一第一连接端子以及一第二连接端子，其耦接到该多个高速接触垫；以及

多个探针，分别与该多个一般接触垫以及该多个高速接触垫接触。

12.如权利要求11所述的测试设备，还包括一测试器，耦接到该印刷电路板的该多个第一连接体以及该高速可挠性印刷电路，并经配置以产生用于测试一待测元件的多个信号并接收由该待测元件所输出的多个信号以进行分析。

13.如权利要求12所述的测试设备，其中该高速可挠性印刷电路的该第一连接端子连接到至少一高速连接器以耦接到该测试器。