[发明专利]捕获循环肿瘤细胞的超材料微流控芯片及其制备方法

权利要求书

1.一种捕获循环肿瘤细胞的超材料微流控芯片，其特征在于，包括依次叠层设置的衬底、中间捕获层及上盖板，其中，

衬底，在预设位置设置有金属超材料结构层；

中间捕获层，设置有流体通道，以及位于所述流体通道内的第一捕获阵列及第二捕获阵列；所述第二捕获阵列与金属超材料结构层对应设置；

上盖板，设置有入口孔和出口孔，所述入口孔对应于所述流体通道的一端，所述出口孔对应于所述流体通道的另一端。

2.根据权利要求1所述的捕获循环肿瘤细胞的超材料微流控芯片，其特征在于，所述第一捕获阵列包括若干个第一捕获单元，所述第一捕获单元包括圆柱体。

3.根据权利要求1所述的捕获循环肿瘤细胞的超材料微流控芯片，其特征在于，所述第二捕获阵列包括若干个第二捕获单元，所述第二捕获单元包括第一端口和第二端口，所述第一端口大于所述第二端口。

4.根据权利要求3所述的捕获循环肿瘤细胞的超材料微流控芯片，其特征在于，所述第二捕获单元包括两个捕获立柱，所述两个捕获立柱之间设置有预设夹角以形成所述第一端口和所述第二端口。

5.根据权利要求4所述的捕获循环肿瘤细胞的超材料微流控芯片，其特征在于，所述捕获立柱包括矩形、三角形、椭圆形或空心弧形中的任一种。

6.根据权利要求3所述的捕获循环肿瘤细胞的超材料微流控芯片，其特征在于，所述第二捕获单元沿流体方向设置若干列，相邻两列的第二捕获单元交错分布。

7.根据权利要求1所述的捕获循环肿瘤细胞的超材料微流控芯片，其特征在于，所述金属超材料结构层包括若干个金属图形单元，所述金属图形单元包括2条支路，所述支路包括相互垂直的第一线路和第二线路。

8.一种捕获循环肿瘤细胞的超材料微流控芯片的制备方法，其特征在于，包括：

根据设计的第一图案，在衬底上制备金属超材料结构层；具体包括：在衬底上根据设计的第一图案沉积金属薄膜，得到金属超材料结构层；

根据设计的第二图案制备中间捕获层，并将中间三维捕获层与制备有金属超材料结构层的衬底组合；其中，所述中间三维捕获层设置有流体通道，以及位于所述流体通道内的第一捕获阵列及第二捕获阵列；所述第二捕获阵列与金属超材料结构层对应设置；

在上盖板的两端制备入口孔和出口孔，并将制备有入口孔和出口孔的上盖板固定在所述中间捕获层的上方；所述入口孔对应于所述流体通道的一端，所述出口孔对应于所述流体通道的另一端。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述根据设计的第二图案制备中间捕获层，并将中间三维捕获层与制备有金属超材料结构层的衬底组合；具体包括：

根据设计的第二图案制备翻模模具，所述翻模模具的结构与所述中间捕获层的结构互补；

根据所述翻模模具制备中间捕获层；

将所述中间捕获层通过键合工艺对准到制备有金属超材料结构层的衬底上。

10.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述根据设计的第二图案制备中间捕获层，并将中间三维捕获层与制备有金属超材料结构层的衬底组合；具体包括：

根据设计的第二图案制备掩膜版；

将所述掩膜版对准贴合在制备有金属超材料结构层的衬底上，并进行曝光处理。