[发明专利]一种多官能度单体及其制备方法和应用、一种光刻胶

权利要求书

1.一种多官能度单体，其特征在于，具有式(I)所示的结构：

其中，R₁、R₂、R₃、R₄各自独立地选自被取代的或未被取代的烷基；

X₁、X₂各自独立地选自被取代的或未被取代的芳香基、被芳香基取代的烷基。

2.根据权利要求1所述的一种多官能度单体，其特征在于，R₁、R₂、R₃、R₄各自独立地选自被取代的或未被取代的C1～C30烷基。

3.根据权利要求1所述的一种多官能度单体，其特征在于，X₁、X₂各自独立地选自C6～C50芳香基。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的一种多官能度单体的制备方法，其特征在于，由一芳香基三烷氧基硅烷和丙烯酸羟烷基酯在有机溶剂、酸性催化剂存在下发生脱水缩合反应，提纯，得到所述多官能度单体。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述一芳香基三烷基硅烷和丙烯酸羟烷基酯的摩尔比为1:(2～2.2)。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述一芳香基三烷基硅烷与醇类有机溶剂的质量比为(2～4):1。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述酸性催化剂的用量占所述一芳香基三烷基硅烷和丙烯酸羟烷基酯总用量的1～2wt%。

8.如权利要求1至3中任意一项所述的一种多官能度单体在制备光刻胶中的应用。

9.一种光刻胶，其特征在于，其原料包括以重量百分比计的如权利要求1至3中任意一项所述的多官能度单体0.5～10wt%。

10.根据权利要求9所述的一种光刻胶，其特征在于，其原料还包括以重量百分比计的碱溶性树脂1.0～10wt%、光引发剂0.8～2.0wt%、溶剂60～85wt%。

11.根据权利要求10所述的一种光刻胶，其特征在于，其原料还包括以重量百分比计的其他多官能度单体0～10wt%，所述其他多官能度单体选自季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、双季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、环氧乙烷改性二新戊四醇六丙烯酸酯中的至少一种。

12.根据权利要求10所述的一种光刻胶，其特征在于，其原料还包括以重量百分比计的着色剂3～6wt%。